[发明专利]一种尺寸可定制的瞬态响应温度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种尺寸可定制的瞬态响应温度传感器，其特征在于，包括：

具有同轴探针结构的测温探针，所述同轴探针结构具有第一热电极、形成有筒壁以在径向方向环绕包围所述第一热电极且与所述第一热电极通过薄膜构成热接点的第二热电极、填充所述第一热电极与第二热电极间隙的绝缘层；

所述同轴探针结构的一端形成有作为测温端的薄膜镀层；

所述同轴探针结构的另一端所伸出的所述第一热电极与第二热电极分别通过高温无机胶分别与所述第一热电极补偿导线与第二热电极补偿导线相连接并固定以构成过渡段；

所述过渡段部分插入可定制螺纹管内，所述可定制螺纹管靠近测温端一端外壁加工有外螺纹。

2.根据权利要求1所述的瞬态响应温度传感器，其特征在于：

所述第一热电极为丝状热电极；所述第二热电极为圆筒状热电极。

3.根据权利要求1所述的瞬态响应温度传感器，其特征在于：

所述第一热电极与第一热电极补偿导线采用相同质量百分比的NiSi合金材料；所述第二热电极与第二热电极补偿导线采用相同质量百分比的NiCr合金材料。

4.根据权利要求1所述的瞬态响应温度传感器，其特征在于：

所述薄膜镀层由测温探针的测温端表面镀覆的热接点薄膜和保护膜构成。

5.根据权利要求1所述的瞬态响应温度传感器，其特征在于：

所述绝缘层由绝缘陶瓷和高温无机胶构成。

6.根据权利要求5所述的瞬态响应温度传感器，其特征在于：

所述绝缘陶瓷的材料为纳米陶瓷粉，高温无机胶为双键DB5012耐高温无机胶。

7.根据权利要求1所述的瞬态响应温度传感器，其特征在于：

所述可定制螺纹管侧面配有开槽平端紧定螺钉，用于对测温探针位置进行固定，并可根据实际情况一定幅度内调节测温探针的长度。

8.一种制备上述尺寸可定制的瞬态响应温度传感器的方法，其包括：

S1、将第一热电极、第二热电极进行表面清洗；

S2、将第一热电极表面涂覆纳米陶瓷浆后放入真空烤瓷炉进行高温烧结，绝缘陶瓷制备过程可多次重复涂覆烧结至所需求的厚度及形状；

S3、首先对经上述高温烧结处理后所形成烧结体表面进行粗处理并再次涂覆高温无机胶，同时在第二热电极内填充高温无机胶；其次将第一热电极及烧结体放入第二热电极中以形成同轴探针结构；最后同时将第二热电极补偿导线紧贴第二热电极筒壁后利用高温无机胶对第一热电极补偿导线与第二热电极补偿导线的位置进行固定后放置通风处等待固化；

S4、对完成固化的测温探针的测温端的表面进行打磨抛光处理；

S5、对完成抛光处理的测温探针的端面进行清洁，并在高真空镀膜机中，用磁控溅射方式依次在测温探针端面沉积NiCr薄膜和SiO2保护膜以形成所述薄膜镀层；

S6、根据定制需求选择可定制螺纹管并将测温探针装入可定制螺纹管中，使得两根补偿导线导入到导线绝套保护套中，调整测温探针长度后用平端开槽紧定螺钉固定。