[发明专利]一种具有湿度传感特性的纸衬底RFID柔性电子标签的制备方法

权利要求书

1.一种具有湿度传感特性的纸衬底RFID柔性电子标签的制备方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤：

步骤1：选择玻璃载片，用酒精清洗，并用去离子水冲洗烘干；将纸质衬底平整的粘附在清洗干净的玻璃载片上；利用甩胶机旋涂一层聚酰胺酸置于纸质衬底上；将所得旋涂后的纸质衬底置于60-100℃的加热台上，恒温加热40-60分钟使聚酰胺酸固化，然后置于室温下降至室温，甩胶固化加降温重复三次；将降温之后所得到的纸质衬底通过无电镀化学法生长银层；将生长有银层的纸质衬底浸泡在0.2mol/L的硝酸银溶液中10-15分钟，再用去离子水冲洗，并置于浓度为8 ~10mmol/L的还原剂中，使之析出银层；在所得银层上平整的贴附一层蓝膜，在蓝膜上附上留有芯片接口天线图形的掩膜板进行掩膜光刻；光刻之后显影去掉天线图形以外的蓝膜；再将所得的衬底刻蚀，刻蚀未被蓝膜覆盖的银层；将刻蚀所得的衬底进行脱模，得到纸质衬底上的银层天线；

步骤2：在步骤1得到的银层天线预留接口处接入芯片；得到裸露的纸衬底RFID柔性电子标签；

步骤3：将裸露的纸衬底RFID柔性电子标签进行封装，得到所述具有湿度传感特性的纸衬底RFID柔性电子标签；其中：

所述掩膜光刻采用UV法进行；

所述显影液为pH=12的氢氧化钠溶液；

所述刻蚀剂为0.1~0.5mol/L的氯化钾溶液；

所述脱模溶液是丙酮；

所述封装采用纳米防水剂；

所述接入芯片为符合ISO18000-6C标准和EPC国际组织Gen-2电子标签标准的超大规模集成电路芯片。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所制得的具有湿度传感特性的纸衬底RFID柔性电子标签的通信频率为860-960兆赫兹。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述还原剂为双氧水或硼氢化钠溶液。