[发明专利]金属栅偏光片及其制作方法、液晶显示器

说明书

本发明公开了一种金属栅偏光片，其包括：基片、多个第一金属栅条和多个第二金属栅条，所述多个第一金属栅条彼此间隔设置在所述基片上，所述第二金属栅条与所述第一金属栅条一一对应，并且每个第二金属栅条设置于其对应的一个第一金属栅条上，所述第一金属栅条和所述第二金属栅条采用不同的金属材料制成。本发明还公开一种金属栅偏光片的制作方法和液晶显示器。本发明在形成第一金属栅条时利用已经制作好的第一金属栅条作为阻挡，可以避免第一金属栅条的线宽被减小，从而能够保证产品的精度。

技术领域

本发明属于偏光片制作技术领域，具体地讲，涉及一种金属栅偏光片及其制作方法、液晶显示器。

背景技术

随着光电与半导体技术的演进，也带动了平板显示器(Flat Panel Display)的蓬勃发展，而在诸多平板显示器中，液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)因具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等诸多优越特性，已成为市场的主流。

目前，液晶显示器中使用的偏光片一般采用吸收模式，背光模块出射的背光通过第一道传统的吸收型偏光片后，背光的透过率只有43％左右，这将导致液晶显示器整体穿透率较低。亚波长金属栅(Nano wire-grid polarizer)偏光片能够选择性透过TM偏振光分量(偏振方向垂直于线栅方向，即p光)，而反射掉TE偏振光分量(偏振方向平行于线栅方向，即s光)，基于这样的工作原理，通过多次反射光循环利用，可大幅提升背光的利用率，从而能大幅度提升LCD的穿透率，并保持较高对比度。然而，现在大部分的金属栅偏振片采用单一金属材料制成栅线，但是在制程中的纳米压印后会存在残留的光阻，需要灰化后才能去除，灰化过程中会刻蚀部分光阻，以使光阻的线宽减小，这样将使得后续的刻蚀单一金属材料的过程中形成的金属栅线的线宽减小，从而不能保证产品的精度。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种避免金属栅线的线宽减小的金属栅偏光片及其制作方法、液晶显示器。

根据本发明的一方面，提供了一种金属栅偏光片，其包括：基片、多个第一金属栅条和多个第二金属栅条，所述多个第一金属栅条彼此间隔设置在所述基片上，所述第二金属栅条与所述第一金属栅条一一对应，并且每个第二金属栅条设置于其对应的一个第一金属栅条上，所述第一金属栅条和所述第二金属栅条采用不同的金属材料制成。

进一步地，所述第一金属栅条由铝制成，所述第二金属栅条由铜制成。

根据本发明的另一方面，还提供了一种金属栅偏光片的制作方法，其包括步骤：在基片上依序形成层叠的第一金属膜层、第二金属膜层和待压印膜层；对所述待压印膜层进行压印处理以形成多个压印条，所述压印条彼此间隔；将位于所述压印条之间的所述第一金属膜层和所述第二金属膜层去除；将所述压印条去除，以形成多个第一金属栅条和位于每个第一金属栅条上的一个第二金属栅条。

进一步地，对所述待压印膜层进行压印处理以形成多个压印条的方法包括：采用纳米压印模板对所述待压印膜层进行纳米压印处理，以形成多个压印条和位于每相邻两个压印条之间的压印层；利用干法灰化的方法将每相邻两个压印条之间的压印层去除。

进一步地，将位于所述压印条之间的所述第一金属膜层和所述第二金属膜层去除的方法包括：利用高功率干法刻蚀的方法将位于所述压印条之间的所述第二金属膜层刻蚀去除；利用低功率干法刻蚀的方法将将位于所述压印条之间的所述第一金属膜层刻蚀去除。

进一步地，所述第一金属膜层由铝制成，所述第二金属膜层由铜制成。

根据本发明的又一方面，又提供了一种液晶显示器，其包括：液晶盒；背光模块，与所述液晶盒相对设置；第一偏光片，设置于所述液晶盒的背向所述背光模块的一侧；第二偏光片，设置于所述液晶盒的朝向所述背光模块的一侧；其中，所述第一偏光片和/或所述第二偏光片为上述的金属栅偏光片；或者所述第一偏光片和/或所述第二偏光片为利用上述的制作方法制成的偏光片。