[发明专利]用探头步进扫描实现ArF准分子激光光强均匀性检测的方法

权利要求书

1.一种适用于光学投影曝光光刻中用探头步进扫描对ArF准分子激光光强均匀性检测的方法，其特征在于，应用脉冲检测装置获取激光脉冲作为计数对象和计数触发信号，在同步时序逻辑的控制下，在一定时间内同时测量一定数目的激光脉冲的总能量和步进扫描光场中各探测点的分能量，计算分能量与总能量之比，以此来消除激光脉冲的时间不均匀性对光强的空间分布均匀性的测量结果的影响。

2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于所说脉冲检测装置，是用激光脉冲探测器将光信号转换成电流信号，通过电流/电压转换，电压放大和比较，获得与光脉冲同步的标准的脉冲波形；或者直接用输出是电压信号的激光脉冲探测器将光信号转换成激光脉冲的电压信号，通过电压比较后获得与光脉冲同步的标准的脉冲波形。

3.按照权利要求1所述的方法，其特征在于所说同步时序逻辑，是指计数机或者微控制器启动测量后的第一个激光脉冲通过触发器组触发关断积分器的放电回路，积分器开始积分，同时脉冲计数器开始计数，当计数达到预置数目以后，输出一个数模转换开启信号，对积分结果进行模数转换，同时触发开启积分器的放电回路，结束本次测量并为下一个位置的测量做准备。

4.按照权利要求1所述的方法，其特征在于所说的测量的能量，是指在同步时序逻辑控制下，采用激光能量探测器将光能量转换成电信号，并对计数器预置数目的脉冲信号进行积分运算，以积分运算结果作为该次测量的能量。

5.按照权利要求1所述的方法，其特征在于所说的分能量，是指在光刻机的掩模面或硅片面步进扫描探测获得光场中各点光强；所说的总能量，是指在光刻机的照明系统的主光路中安装分束装置，将部分光从主光路中分离出，并采用激光能量探测器探测该部分光能量，以此计算激光总能量。

6.按照权利要求1所述的方法，其特征在于所说光强均匀性，是通过计算机编程，将光场中各扫描点的分能量与对应总能量作比获得相对光强，以相对光强衡量光强均匀性，并通过计算机程序绘出均匀性分布图。