[发明专利]光束整形装置及整形方法

权利要求书

1.一种光束整形装置，用于对来自半导体激光器的光束进行整形，其特征在于，包括：

单片整形透镜，前表面和后表面为相互正交的球面柱面、非球面柱面、自由曲面柱面或其中任意两个面型的组合；

其中，母线与所述半导体激光器慢轴平行的所述单片整形透镜的柱面表面对所述半导体激光器快轴方向光束的发散角进行准直，以及母线与所述半导体激光器快轴平行的所述单片整形透镜的柱面表面对所述半导体激光器慢轴方向光束的发散角进行调整。

2.根据权利要求1所述的光束整形装置，其特征在于，母线与所述半导体激光器快轴平行的所述单片整形透镜的柱面表面对所述半导体激光器慢轴方向光束的发散角进行调整并对所述光束进行匀化。

3.根据权利要求1或2所述的光束整形装置，其特征在于，所述光束整形装置还包括探测面以检测经过整形后的出射激光的性能。

4.根据权利要求3所述的光束整形装置，其特征在于，所述单片整形透镜设置于所述半导体激光器与所述探测面之间。

5.根据权利要求3所述的光束整形装置，其特征在于，所述单片整形透镜、所述探测面以及所述半导体激光器的中心位于同一直线上。

6.根据权利要求1所述的光束整形装置，其特征在于，所述半导体激光器包括半导体激光器线阵列、单管半导体激光器以及半导体激光器面阵列中的任一种。

7.一种利用如权利要求1-4中任一项所述的光束整形装置对光束进行整形的方法，包括：

将半导体激光器设置在所述光束整形装置的单片整形透镜的一侧，以使得所述单片整形透镜设置于所述半导体激光器与探测面之间；

调整所述单片整形透镜，使得所述单片整形透镜的两柱面表面的母线与所述半导体激光器的慢轴和快轴分别对应平行，以准直所述半导体激光器快轴方向光束的发散角度，以及调整慢轴方向光束的发散角度并进行匀化；以及

调整所述半导体激光器、所述单片整形透镜与所述探测面，使得它们的中心位于同一直线上。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括使用所述探测面对经过整形后的出射激光的光束进行检测。