[发明专利]体声波谐振器

说明书

本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层，其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。

本申请要求于2017年5月18日提交到韩国知识产权局的第10-2017-0061416号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。

技术领域

本申请涉及一种体声波谐振器。

背景技术

随着对带宽的需求增加，通信公司在制造体声波谐振器和微机电系统(MEMS)装置时已经不断地要求高性能和装置稳定性以及小型化。

详细地，随着带宽的使用和不同的频带增多，频带之间的频带间隙需要逐渐减小。

另外，这样的现象由于缺乏频率资源而引起频带内间隙和频带之间的间隙变窄，导致需要防止干涉。

为了改善这样的特性，需要抑制插入损耗，显著地减小频带间干涉，并且防止频带内陷波(notch)的发生。

发明内容

提供本发明内容以按照简化的形式对所选择的构思进行介绍，并在以下具体实施方式中进一步描述所述构思。本发明内容既不意在限定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；下电极，设置在所述下电极连接构件上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上；上电极连接构件，使所述上电极电连接到所述基板；及介电层，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中；其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部；所述体声波谐振器还包括延伸部，所述延伸部从所述下电极或所述上电极延伸，以从所述谐振部向外突出；所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。

所述电容器部可设置在所述下电极连接构件的外部。

所述下电极连接构件、所述谐振部和所述基板可在所述谐振部之下形成腔；并且所述电容器部可与所述基板分开。

所述延伸部可从所述下电极延伸。

所述上电极连接构件可包括：锚部，设置在所述基板上；板部，从所述锚部与所述基板的上表面平行地延伸；及连接部，设置在所述上电极的上表面上并且连接到所述板部。

所述板部的部分可用作所述电容器部的上电极。

所述锚部的上端部和所述连接部可嵌入在所述介电层中。

所述下电极连接构件可使所述下电极电连接到所述基板并且支撑所述谐振部。

所述下电极连接构件可具有环形形状并且支撑所述谐振部的边缘部分。