[发明专利]一种机械零件表面镀膜工艺在审
| 申请号： | 201711438318.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108048795A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 余历军;董忍娥;刘明霞;叶芳霞;王超奇;徐东东;孟子龙;窦浩;陈钊 | 申请（专利权）人： | 西安文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/30;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械零件 表面 镀膜 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：包括底层膜、中间膜和表面膜，具体工艺包括以下步骤：
（1）提供一个待加工钢质机械零件；
（2）提供一个具备设计图案的磁性体结构；
（3）将磁性体结构贴覆于钢质机械零件表面进行遮蔽；
（4）将零件置于真空室内采用离子源进行表面清洁；
（5）在零件表面用电子束蒸发镀膜方式进行底层膜镀膜；
（6）在底层膜表面沉积中间膜；
（7）在中间膜表面沉积表面膜；
（8）将零件取出，去除磁性体结构，再重复步骤（5）至步骤（7）即可完成镀膜工艺。
2.根据权利要求1所述的机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：所述底层膜的厚度为0.3-0.5微米。
3.根据权利要求1所述的机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：所述中间膜的厚度为0.25-0.5微米。
4.根据权利要求1所述的机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：所述表面膜的厚度为1-1.5微米。
5.根据权利要求1或2所述的机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：所述底层膜由铝和铬组成，所述铝与所述铬的比例为1：0.6。
6.根据权利要求1或3所述的机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：所述中间膜为不锈钢材料。
7.根据权利要求1或4所述的机械零件表面镀膜工艺，其特征在于：所述表面膜为氮化硅材料。
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