[发明专利]一种双通道同时空域和时域偏振相移干涉的方法及系统

权利要求书

1.一种双通道同时空域和时域偏振相移干涉方法，其特征在于，所述方法包括：

第一图像传感器在电子设备的控制下接收第一成像偏振光，并形成第一相移干涉图，所述第一相移干涉图的相移量为参考相移量；

第二图像传感器在所述电子设备的控制下接收第三成像偏振光，并形成第三相移干涉图，所述第三相移干涉图的相移量为空域相移量；

空间光调制器在所述电子设备的控制下进行光调制，得到时域相移量；

所述第一图像传感器在所述电子设备的控制下接收第二成像偏振光，并形成第二相移干涉图，所述第二相移干涉图的相移量为所述时域相移量；

所述第二图像传感器在所述电子设备的控制下接收第四成像偏振光，并形成第四相移干涉图，所述第四相移干涉图的相移量为综合相移量，所述综合相移量是通过所述空域相移量和所述时域相移量计算得到的；

所述电子设备获取所述第一相移干涉图、所述第二相移干涉图、所述第三相移干涉图、所述第四相移干涉图、所述空域相移量以及所述时域相移量，并根据所述第一相移干涉图、所述第二相移干涉图、所述第三相移干涉图、所述第四相移干涉图、所述空域相移量以及所述时域相移量计算得到待测相位，所述待测相位为待测物品的相位；

所述方法还包括：

第一非偏振分光棱镜接收第一激光正交偏振光，并反射所述激光正交偏振光；

所述空间光调制器接收所述第一非偏振分光棱镜反射的所述第一激光正交偏振光，并反射所述第一激光正交偏振光；

所述第一非偏振分光棱镜接收所述空间光调制器反射的所述第一激光正交偏振光，并透射所述第一激光正交偏振光；

偏振分光棱镜接收所述第一非偏振分光棱镜透射的所述第一激光正交偏振光，并反射所述第一激光正交偏振光包括的第一垂直偏振光，透射所述第一激光正交偏振光包括的第一水平偏振光；

第一平面反射镜接收所述第一垂直偏振光，并反射所述第一垂直偏振光；

第二平面反射镜接收所述第一水平偏振光，并反射所述第一水平偏振光；其中，所述第二平面反射镜反射的所述第一水平偏振光为第一参考光波；

样品台接收所述第一平面反射镜反射的所述第一垂直偏振光，输出第一物光波；所述样品台上放置待测物品，所述第一物光波是所述第一垂直偏振光透射所述待测物品得到的；

第一显微镜接收所述样品台输出的所述第一物光波，并输出第一显微物光波；

第二显微镜接收所述第二平面反射镜反射的所述第一参考光波，并输出第一显微参考光波；

第二非偏振分光棱镜接收所述第一显微镜输出的所述第一显微物光波和所述第二显微镜输出的所述第一显微参考光波，并输出第一正交偏振光；所述第一正交偏振光包括所述第一显微物光波和所述第一显微参考光波；

四分之一波片接收所述第二非偏振分光棱镜输出的所述第一正交偏振光，并输出第一圆偏振光；其中，所述第一圆偏振光包括第一相移显微物光波和所述第一显微参考光波；所述第一相移显微物光波是由所述第一显微物光波相移得到的，所述第一相移显微物光波和所述第一显微参考光波相差的相移量为空域相移量；

第三非偏振分光棱镜接收所述四分之一波片输出的所述第一圆偏振光，并反射所述第一圆偏振光，透射所述第一圆偏振光；

第一偏振片接收所述第三非偏振分光棱镜反射的所述第一圆偏振光，并输出第一成像偏振光，所述第一成像偏振光是所述第一显微参考光波；

第二偏振片接收所述第三非偏振分光棱镜透射的所述第一圆偏振光，并输出第三成像偏振光，所述第三成像偏振光是所述第一相移显微物光波；

所述第一图像传感器在电子设备的控制下接收第一成像偏振光，并形成第一相移干涉图，所述第一相移干涉图的相移量为参考相移量，包括：

第一图像传感器在电子设备的控制下接收所述第一偏振片输出的所述第一成像偏振光，并形成第一相移干涉图，所述第一相移干涉图的相移量为参考相移量；

所述第二图像传感器在所述电子设备的控制下接收第三成像偏振光，并形成第三相移干涉图，所述第三相移干涉图的相移量为空域相移量，包括：

第二图像传感器在所述电子设备的控制下接收所述第二偏振片输出的所述第三成像偏振光，并形成第三相移干涉图，所述第三相移干涉图的相移量为空域相移量。