[发明专利]一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器

权利要求书

1.一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，包括薄膜压电驱动器、静电驱动器、不可压缩流体、底座、基体、固定壁面，其中：

所述静电驱动器包括柔性薄膜、固定壁面、固定壁面介电层；

所述柔性薄膜上设有薄膜表面电极，所述柔性薄膜的弹性模量＜3GPa，所述柔性薄膜的厚度＜1mm；

所述固定壁面上设有进口孔和出口孔；

所述薄膜压电驱动器包括：弹性基片、压电陶瓷片和压电陶瓷片表面电极；

所述薄膜压电驱动器和所述静电驱动器通过同步的驱动电压信号驱动；

所述薄膜压电驱动器与不可压缩流体的接触面积大于所述柔性薄膜与所述不可压缩流体的接触面积。

2.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，在所述薄膜压电驱动器中分别在压电陶瓷片表面电极层和所述基体中焊接导线，用以接收驱动电压信号。

3.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述柔性薄膜表面的所述薄膜表面电极和所述固定壁面介电层之间施加同步的交变电压驱动信号。

4.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述薄膜表面电极以及引线的制作工艺包括：薄膜的清洗，光刻胶固定，薄膜表面溅射电极种子层，溅射金属电极层，电镀金属防护层，刻蚀去除非电极区域的金属层。

5.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述基体采用硬质绝缘材料，所述硬质绝缘材料包括聚醚醚酮和有机玻璃。

6.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述固定壁面采用导电材料，所述导电材料为硅或金属材料。

7.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述固定壁面介电层厚度低于1μm。

8.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述柔性薄膜为弹性金属膜、聚酰亚胺薄膜或PDMS薄膜。

9.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于：复合驱动振膜驱动器的结构是单侧或双侧驱动结构。

10.根据权利要求1所述的一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，所述不可压缩流体为可传递压力的液体，所述可传递压力的液体包括液压油。