[发明专利]一种超大型高精密面板测量仪器在审
| 申请号： | 201711415814.1 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108107612A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 马观岚 | 申请（专利权）人： | 江苏才道精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工作台 金相显微镜 光学玻璃 测量仪器 传动架 光源 龙门移动式 龙门结构 使用测量 竖直设置 双边支撑 水平镜头 伺服电机 相机镜头 高精密 固定板 重量轻 横梁 导轨 对丝 上横 正对 底座 磨损 | ||
1.一种超大型高精度面板测量仪器，具有工作台(1)；其特征在于：所述工作台(1)设置在底座(2)上，所述工作台(1)具有光学玻璃(3)，所述光学玻璃(3)下面安装有点光源(4)，所述工作台(1)的垂直方向上横置有龙门结构的X轴传动架(5)，所述工作台(1)的径向设有Y轴传动架(6)，金相显微镜(7)通过固定板竖直设置在X轴传动架(5)上，所述X轴传动架(5)和Y轴传动架(6)的端部分别连接各自的伺服电机，所述金相显微镜(7)的相机镜头(10)正对有点光源(4)。
2.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：在所述X轴传动架(5)上滑动设置有Z轴传动架(8)，所述金相显微镜(7)在所述Z轴传动架(8)做上下移动，所述Z轴传动架(8)的顶端电连接Z轴电机(9)。
3.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述X轴传动架(5)包括X轴同步带(51)、X轴限位块(52)和下灯线轮(53)，所述X轴同步带(51)套接在下灯线轮(53)上并带动Z轴传动架(8)在工作台(1)的X轴方向上移动。
4.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述X轴传动架(5)上还设有油墨标记(14)，所述油墨标记(14)靠近金相显微镜(7)。
5.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述X轴传动架(5)的两边设有横梁立体支架(12)，所述横梁立体支架(12)的底部设置在Y轴传动架(6)上并在所述工作台(1)的Y轴上滑动，所述横梁立体支架(13)上设有限位胶固定块(11)。
6.根据权利要求2所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述Z轴传动架(8)上设有水平镜头(12)，所述水平镜头(12)用于观测两侧截面。
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