[发明专利]大面积簇射头组件

权利要求书

1.一种大面积簇射头组件，其特征在于，包括：

背衬板，具备在腔室的上部；

簇射头，具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体，且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板；以及

连接部，连接所述簇射头与所述背衬板，其中

所述簇射头具备沿所述簇射头的上表面边缘向上延伸的延伸部，所述延伸部插入所述连接部，并且以可实现热膨胀的方式连接所述连接部，以支撑所述簇射头，所述连接部包括：

供所述延伸部插入的槽部或开口部，所述槽部或开口部的容积大于所述延伸部的尺寸，以容纳所述延伸部并允许所述簇射头的热膨胀；以及

支撑部，具备未固定于所述背衬板的侧壁的端部，并且所述端部贯通所述背衬板的所述侧壁而固定到所述延伸部，以支撑所述延伸部。

2.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

所述支撑部具备：第一支撑部，沿垂直于所述延伸部的方向紧固而导引所述延伸部因热膨胀引起的体积变化；以及第二支撑部，以预先确定的角度紧固到所述延伸部而防止所述簇射头下垂。

3.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

所述支撑部包括螺杆或螺栓，在其端部形成螺纹，贯通所述背衬板的侧壁而紧固到所述延伸部。

4.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

所述支撑部在其端部具备球形或曲线形的头部，在所述延伸部形成插入空间，所述插入空间的体积相对大于所述头部以供所述头部插入。

5.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

所述支撑部以所述簇射头的中央部为中心而配置成放射状。

6.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

对所述背衬板施加射频电源，

在所述簇射头的中央部还具备固定部，所述固定部连接所述背衬板与所述簇射头而支撑所述簇射头，将施加在所述背衬板的所述射频电源传输到所述簇射头。

7.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

对贯通所述开口部的所述延伸部施加射频电源。

8.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

所述连接部还具备间隔调节单元，所述间隔调节单元可调节所述簇射头与所述基板之间的间隔。

9.根据权利要求8所述的大面积簇射头组件，其特征在于，

所述间隔调节单元包括螺杆或螺丝，贯通所述簇射头的下表面而紧固到所述背衬板。