[发明专利]一种2.75~2.95μm透过中波红外滤光片及其制备方法

说明书

本发明涉及一种2.75～2.95μm透过中波红外滤光片及其制备方法，属于光学薄膜领域。所述滤光片包括锗基底、锗基底一侧的长波通膜系和锗基底另一侧的短波通膜系；长波通膜系包括交替叠加的锗膜层和硫化锌膜层，长波通膜系的结构为(0.5HL0.5H)^10(0.36H0.72L0.36H)^5，中心波长为2150nm；短波通膜系包括交替叠加的硫化锌膜层和锗膜层，短波通膜系结构为(0.5LH0.5L)^10，中心波长3500nm；所述滤光片在2.75～2.95μm谱段具有≥82％的高透过率，同时在1.0～2.7μm和3.0～4.2μm谱段宽截止，截止区域内平均透过率＜1％，满足遥感探测系统的使用要求。

技术领域

本发明涉及一种2.75～2.95μm透过中波红外滤光片及其制备方法，具体涉及一种在2.75～2.95μm谱段具有高透过率，同时在1.0～2.7μm和3.0～4.2μm谱段宽截止的中波红外滤光片，属于光学薄膜领域。

背景技术

目前遥感探测系统的空间微型组合滤光片中，亟需一种满足以下要求的滤光片：(1)在2.75～2.95μm谱段具有高透过率；(2)在1.0～2.7μm和3.0～4.2μm 谱段具有抑制光信号的作用，以减少信号噪声的影响；(3)可在低温(80K)下使用；(4)基底尺寸小，基底所有面之间的夹角为直角，不存在倒角，膜层在拼接时不产生起膜或掉膜等膜层质量问题，以满足在所述空间微型组合滤光片的拼接要求。

发明内容

针对现有技术中未有在2.75～2.95μm谱段具有高透过率，同时在1.0～2.7μm 和3.0～4.2μm谱段宽截止的中波红外滤光片的缺陷；本发明的目的之一在于提供一种2.75～2.95μm透过中波红外滤光片，所述滤光片在2.75～2.95μm谱段具有高透过率，同时在1.0～2.7μm和3.0～4.2μm谱段宽截止。

本发明的目的之二在于提供一种2.75～2.95μm透过中波红外滤光片的制备方法。

本发明的目的通过以下技术方案实现。

一种2.75～2.95μm透过中波红外滤光片，所述滤光片包括锗基底、锗基底一侧的长波通膜系和锗基底另一侧的短波通膜系；

长波通膜系包括交替叠加的锗(Ge)膜层和硫化锌(ZnS)膜层，长波通膜系的结构为：(0.5HL0.5H)^10(0.36H0.72L0.36H)^5，中心波长为2150nm； H为锗膜层，0.5H表示锗膜层厚度为0.5个基本厚度，0.36H表示锗膜层厚度为0.36个基本厚度；L为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度， 0.72L表示硫化锌膜层厚度为0.72个基本厚度；10为基本膜堆(0.5HL0.5H)的周期数，5为基本膜堆(0.36H0.72L0.36H)的周期数；

短波通膜系包括交替叠加的硫化锌膜层和锗膜层，短波通膜系结构为：(0.5LH0.5L)^10，中心波长3500nm；H为锗膜层，表示锗膜层厚度为1个基本厚度，L为硫化锌膜层，0.5L表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度；10为基本膜堆(0.5LH0.5L)的周期数；

基本厚度为长波通膜系或短波通膜系光学厚度中心波长的四分之一。

优选的，采用Macleod软件对所述长波通膜系的结构进行优化，得到的长波通膜系，如表1所示；其中，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为31的膜层沉积在锗基底上，为长波通膜系的最内层；

表1长波通膜系

。

优选的，采用Macleod软件对所述长波通膜系的结构进行优化，得到的短波通膜系，如表2所示；其中，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为21的膜层沉积在锗基底上，为长波通膜系的最内层；

表2短波通膜系

。