[发明专利]自适应式干式真空机械泵电控系统及控制方法

权利要求书

1.一种自适应式干式真空机械泵电控系统，该电控系统能够控制多级真空泵组，其特征在于，包括：

若干分别与各级真空泵组管道相连接的泵组前压力检测单元，该泵组前压力检测单元能够检测其所在真空泵组管道内的压力信号并所述压力信号转换成电信号；

通过PLC的模拟量输入模块与各所述泵组前压力检测单元相连接的CPU单元，该CPU单元能够按照预设的自适应抽真空计算模型输出相应的控制指令以控制各真空泵组电机进行相应的操作，所述自适应抽真空计算模型包括自动以给定的工艺参数为基准，在控制各级真空泵组电机进行抽真空操作前，基于各泵组前压力检测单元所检测的压力信号，预先计算并分配多级真空泵组各自所需要的抽气时间及抽气速度，同时在某一级真空泵组完成抽真空操作时重新计算并分配余下各级真空泵组各自所需要的抽气时间及抽气速度，所述工艺参数至少包括真空压力值和工艺流程时间；

若干分别与各级真空泵组相连接的交流变频器，该交流变频器能够实时向CPU单元反馈自身的状态数据以及所连接的真空泵组电机的状态数据并执行CPU单元下发的控制指令，以完成对所述真空泵组电机的控制操作；

以及能够实现所述CPU单元与上位机进行数据交换的多级网络通讯模块。

2.根据权利要求1所述的自适应式干式真空机械泵电控系统，其特征在于：所述自适应抽真空计算模型中所对应的计算并分配过程包括：

(1)、自动以给定的最终真空压力值、工艺流程时间以及真空泵组的级数为基准，平均分配每一级真空泵组所对应的预计的抽气时间以及抽气速度，其中各级真空泵组所要实现的真空压力值依据用户经验预先设定；

(2)、按照预计的抽气时间以及抽气速度，启动第一级真空泵组进行抽气并判断第一级真空泵组到达对应的真空压力值时所使用的抽气时间是否小于等于所述预计抽气时间，是则执行(3)，否则执行(4)；

(3)、继续按照所述预计抽气时间以及抽气速度，启动下一级真空泵组进行抽气并重复(2)中的判断过程；

(4)、执行抽气调整策略即自动以给定的真空压力值、剩余的工艺流程时间以及剩余的真空泵组的级数为基准，重新平均分配每一级真空泵组所对应的预计的抽气时间同时增加抽气速度并按照重新预计的抽气时间以及所增加的抽气速度，启动该级真空泵组进行抽气并判断该级真空泵组到达对应的真空压力值时所使用的抽气时间是否小于等于重新预计的抽气时间，是则执行(3)，否则再次执行抽气调整策略；

(5)、重复(4)直至完成全部真空泵组的抽气过程；同时实时判断是否当前抽气调整策略中所预计的抽气时间以及真空泵组的最大抽气速度所能达到的真空压力值小于对应的真空压力值，是则启动报警机制。

3.根据权利要求1所述的自适应式干式真空机械泵电控系统，其特征在于：所述的

所述泵组前压力检测单元采用压差变送器。

4.根据权利要求1所述的自适应式干式真空机械泵电控系统，其特征在于：所述PLC的模拟量输入模块采用西门子S300系列输入输出模块。

5.根据权利要求1所述的自适应式干式真空机械泵电控系统，其特征在于：所述CPU单元采用西门子414-2DP控制器。

6.根据权利要求1所述的自适应式干式真空机械泵电控系统，其特征在于：所述交流变频器采用西门子6SE70系列交流变频器。

7.根据权利要求1所述的自适应式干式真空机械泵电控系统，其特征在于：所述多级网络通讯模块采用西门子CP443-1通讯模块。