[发明专利]覆膜Cr12Mo1V1刀片及其制备方法在审
| 申请号： | 201711403754.1 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108060389A | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 江雨仙 | 申请（专利权）人： | 江雨仙 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 韩冰;陈小莲 |
| 地址： | 324000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 覆膜 cr12mo1v1 刀片 及其 制备 方法 | ||
1.一种覆膜Cr12Mo1V1刀片的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)将Ti靶在含有氩气、氢气和氮气的混合气体的气氛中对刀片进行反应溅射，以在刀片上形成第一扩散层；
(2)将Al靶和Ti靶在含有氩气、氢气和氮气的混合气体的气氛中对形成有所述第一扩散层的刀片进行反应溅射，以在第一扩散层表面形成第二扩散层；
(3)将Al靶和Ti靶在含有氩气和氮气的混合气体的气氛中对形成有所述第二扩散层的刀片进行反应溅射，以在第二扩散层表面形成第三扩散层，得到形成有包括所述第一扩散层、第二扩散层和第三扩散层的氮铝化钛薄膜的刀片；
(4)将形成有所述氮铝化钛薄膜的刀片于氩气气氛中保温；
其中，所述刀片的材质为Cr12Mo1V1。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(1)和/或步骤(2)中氩气、氢气和氮气的流量比各自为2-3:1:4-5；优选地，
步骤(1)和/或步骤(2)氮气的流量各自选自50-90SCCM。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(1)中的反应溅射的条件包括：真空度为(2-3)×10
4.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(2)中的反应溅射的条件包括：真空度为(2-3)×10
Ti靶电流40-45A，溅射电压400-420V；和/或，
Al靶电流50-60A，溅射电压400-420V。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(3)中氩气、氮气的流量比为1:2-3；优选地，
氮气的流量为40-60SCCM。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(3)中的反应溅射的条件包括：真空度为(2-3)×10
Ti靶电流50-55A，溅射电压400-420V；和/或，
Al靶电流40-45A，溅射电压400-420V。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其中，步骤(4)中保温的条件包括：温度为500-800℃，时间为2-3h。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的制备方法，其中，步骤(1)中反应溅射时间为0.5-3h；和/或，步骤(2)中反应溅射时间为0.5-3h；和/或，步骤(3)中反应溅射时间为0.5-3h；优选地，
步骤(1)中反应溅射时间为0.5-1h，步骤(2)中反应溅射时间为0.25-0.75h，步骤(3)中反应溅射时间为1-1.5h。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其中，在步骤(1)中反应溅射前，还包括对所述刀片用丙酮和/或无水乙醇超声清洗5-15min的步骤。
10.根据权利要求1-9任一项所述的制备方法制备得到的覆膜Cr12Mo1V1刀片。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江雨仙，未经江雨仙许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711403754.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
