[发明专利]一种氧化硅全包封LED芯片及其制备方法在审
| 申请号: | 201711400347.5 | 申请日: | 2017-12-22 |
| 公开(公告)号: | CN108110094A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
| 发明(设计)人: | 王良臣;周智斌;苗振林;季辉;许亚兵 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/48;H01L33/54 |
| 代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
| 地址: | 423038 湖南省郴*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氧化硅层 衬底层 封装胶 外延层 全包封 氧化硅 衬底面 侧面 制备 结合力 覆盖 | ||
1.一种氧化硅全包封LED芯片,其特征在于,包括:LED芯片本体、氧化硅层和封装胶;
所述LED芯片本体,包括:衬底层、外延层、N电极和P电极;所述外延层位于所述衬底层的一侧,所述氧化硅层覆盖衬底面,所述衬底面为所述衬底层远离所述外延层一侧的表面;
所述封装胶覆盖所述氧化硅层远离所述衬底层一侧的表面、所述氧化硅层的侧面、所述衬底层的侧面和所述外延层的侧面。
2.根据权利要求1所述的一种氧化硅全包封LED芯片,其特征在于,所述氧化硅层还覆盖,所述衬底层的侧面和所述外延层的侧面。
3.根据权利要求1-2任一项所述的一种氧化硅全包封LED芯片,其特征在于,所述封装胶的材料为有机硅封装胶。
4.根据权利要求3所述的一种氧化硅全包封LED芯片,其特征在于,
所述衬底层,为蓝宝石衬底;
所述外延层,包括:N半导体层、量子阱层和P半导体层;
所述N半导体层,位于所述衬底层远离所述氧化硅层的一侧,所述N半导体层远离所述衬底层一侧的表面包括:量子阱区域和N电极区域;
所述量子阱层,位于所述N半导体层远离所述衬底层的一侧,并覆盖所述量子阱区域;
所述P半导体层,位于所述量子阱层远离所述衬底层的一侧;
所述P电极,位于所述P半导体层远离所述衬底层的一侧,并与所述P半导体层相连接;
所述N电极,位于所述N半导体层远离所述衬底层的一侧,与所述N半导体层相连接并覆盖所述N电极区域。
5.根据权利要求1所述的一种氧化硅全包封LED芯片,其特征在于,所述氧化硅层,为厚度大于1000埃的氧化硅薄膜。
6.根据权利要求1-2任一项所述的一种氧化硅全包封LED芯片,其特征在于,所述氧化硅层,为厚度不小于1000埃且不大于2000埃的氧化硅薄膜。
7.一种制备氧化硅全包封LED芯片的方法,其特征在于,用于制备如权利要求1所述的氧化硅全包封LED芯片,包括:采用等离子化学气相沉积法,在所述衬底面上,生长包封所述LED芯片本体的所述氧化硅层。
8.一种制备氧化硅全包封LED芯片的方法,其特征在于,用于制备如权利要求2所述的氧化硅全包封LED芯片,包括:
制备所述衬底层;在所述衬底层上制备所述外延层,在所述外延层上制备所述N电极和所述P电极,切割得到分离的所述LED芯片本体;
制备所述氧化硅层,包括:将所述LED芯片本体,间隔排布在两面具有粘性的第一柔性膜的第一表面,其中:所述衬底层位于所述外延层远离所述第一柔性膜的一侧,所述第一柔性膜的粘性失效温度和形变温度不低于200℃;将粘贴有所述LED芯片本体的所述第一柔性膜的第二表面,粘贴在载板的一侧上,在200℃以下,用等离子增强化学气相沉积法,在所述LED芯片本体上生长所述氧化硅层,得到LED颗粒,所述载板的破裂温度不低于200℃;
封涂封装胶。
9.根据权利要求8所述一种制备氧化硅全包封LED芯片的方法,其特征在于,所述封涂封装胶,包括:
采用翻膜法,将所述LED颗粒转移到第二柔性膜的粘性面上,所述外延层,位于所述衬底层远离所述第二柔性膜的一侧;
将所述LED颗粒转移到第三柔性膜的粘性面上,所述衬底层位于所述外延层远离所述第三柔性膜的一侧;
在所述LED颗粒及所述第三柔性膜上涂覆所述封装胶,并对所述封装胶进行固化处理,待所述封装胶固化后对所述封装胶进行切割,获得芯片级封装结构的所述氧化硅全包封LED芯片。
10.根据权利要求9所述一种制备氧化硅全包封LED芯片的方法,其特征在于,将所述LED颗粒转移到第三柔性膜的粘性面上,进一步为:
根据切割线位置、刀宽、预先设计的所述氧化硅全包封LED芯片的尺寸和间距,设计掩膜版图形并制作掩膜板,所述掩膜版图形包括多个呈阵列排布的芯片图形;
在所述掩膜板具有所述掩膜板图形的一面上固定所述第三柔性膜,所述第三柔性膜的粘性失效温度和形变温度不低于150℃,所述第三柔性膜远离所述掩膜板的一面为粘性面;
利用具有图像识别功能的排片设备,将所述LED颗粒转移到所述第三柔性膜的粘性面上,所述掩膜板上的所述芯片图形与排布的所述LED颗粒的图形位置重合;
分离所述掩膜板和所述第三柔性膜。
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