[发明专利]一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法

权利要求书

1.一种测量任意表面法向误差的激光测量装置的测量方法，其特征在于，该激光测量装置包括：微位移传递杠杆、固定座、反射镜、激光器及激光器姿态调整装置、数据采集与显示模块；其中微位移传递杠杆包括测头、簧片支架、交叉簧片；簧片支架通过交叉簧片固定于固定座上，交叉簧片夹角呈90度，簧片支架两端伸出臂间夹角呈90度；簧片支架一端点与测头通过螺纹连接，另一端点与反射镜通过胶粘连接固定；激光射于反光镜上，激光器分别与激光器姿态调整装置和数据采集与显示模块连接；

反射镜平面度小于0.5μm，表面粗糙度为λ/20～λ/5；

激光器具有温度误差补偿功能；

该测量方法，包括如下步骤：

1)通过调整激光器的姿态，调整光斑到交叉簧片交线的距离等于测点到交叉簧片交线的距离；同时调整激光器的俯仰角和偏摆角，搜索接受反射光强的最大值，以调整激光入射方向与反射镜垂直；

2)调整测头的测量方向与零件工作面的法向一致；

3)调整完毕后将激光器锁紧；

4)通过数据采集与显示模块，计算出光斑与接收器距离的变动量，此值即为测点位置的相对变动量，测量过程中同时考虑对温度误差进行补偿。

2.根据权利要求1所述的测量任意表面法向误差的激光测量装置的测量方法，其特征在于，所述交叉簧片采用0.1mm的65Mn钢通过线切割加工工艺获得。