[发明专利]制备铟靶材的方法

说明书

本发明提供了一种制备铟靶材的方法，其包括步骤：检查背板；将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；将挡板固定于背板的上表面的四周缘；设定可控温平板加热炉的温度为预热温度；将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成铟靶材；将铟靶材取出；将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；对成型的铟靶材进行超声探伤扫描以检查铟靶材有无缺陷以及背板与固体铟的焊合有无缺陷。

技术领域

本发明涉及铟靶材的制造技术，尤其涉及一种制备铟靶材的方法。

背景技术

金属铟因其延展性极好、可塑性强、蒸气压低，能够与多种金属任意配比形成合金而被广泛应用于诸多先进领域，如航空领域、半导体领域、光电子领域、以及工业领域等。目前，国内并无相关大尺寸铟靶材的制造工艺技术。

发明内容

鉴于背景技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种制备铟靶材的方法，其能够根据需要来制备不同尺寸的铟靶材。

为了实现上述目的，本发明提供了一种制备铟靶材的方法，其包括步骤：检查背板并清洁背板的外表面；将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；将挡板固定于背板的上表面的四周缘以形成由背板和挡板围成的上端开口的容置腔；设定可控温平板加热炉的温度为预热温度以预热背板；将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成下层为背板、上层为固体铟的铟靶材；待铟液固化后将挡板松开并移除，将铟靶材取出；将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；对成型的铟靶材进行超声探伤扫描以检查铟靶材有无缺陷以及背板与固体铟的焊合有无缺陷。

本发明的有益效果如下：

在根据本发明的制备铟靶材的方法中，由背板和挡板围成的容置腔的大小可以根据需要的铟靶材的尺寸来确定，从而可以制备任何所需尺寸的铟靶材。

附图说明

图1是制备铟靶材的可控温平板加热炉的示意图。

图2是铟靶材的示意图。

其中，附图标记说明如下：

1铟靶材 22挡板

11背板 S容置腔

12固体铟 23超声波震动装置

2可控温平板加热炉 231震动头

21平板

具体实施方式

下面参照附图来详细说明根据本发明的制备铟靶材的方法。