[发明专利]探针自动监控方法在审
| 申请号： | 201711393083.5 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108132021A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 周波;莫保章;邵雄 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;G01N21/952 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 针尖 自动监控 图像识别算法 停止测试 探针卡 探针 工程师 报警 光学摄像头 测试数据 量测数据 预先设置 针尖图像 正常探针 自动量测 测试仪 探针台 拍摄 | ||
1.一种探针自动监控方法，其特征在于，包括：
提供探针的设定规格；
获取测试时的探针的实际规格；以及
利用测试仪开始测试，若实际规格与设定规格不匹配，则停止测试。
2.如权利要求1所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述提供探针的设定规格的步骤包括：将测试时的所有类型探针卡的针尖理论照片和针尖直径规格预存在所述测试仪的配置文件中。
3.如权利要求2所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述获取测试时的探针的实际规格的步骤包括：在晶圆测试前探针台对所有针尖拍照并将针尖实际照片发送给所述测试仪。
4.如权利要求3所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述实际规格与设定规格不匹配包括探针卡针尖有粘污及探针卡针尖实际直径超出预存的探针卡针尖直径规格。
5.如权利要求4所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述测试仪采用图像识别算法对比所述针尖实际照片和所述针尖理论照片以判断探针卡针尖是否粘污。
6.如权利要求4所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述测试仪采用图像识别算法计算针尖实际直径，并与预存的探针卡针尖直径规格比较以判断是否超出预存的探针卡针尖直径规格。
7.如权利要求1所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述测试仪包括一测试系统，所述测试系统包括探针参数模块和测试模块，所述测试模块进行测试时调用所述探针参数模块中的数据。
8.如权利要求7所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述探针参数模块中存放所述所有类型探针卡的针尖照片和针尖直径规格。
9.如权利要求7所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述测试开始时，所述探针台对所有针尖拍照并将针尖实际照片发送给所述测试模块。
10.如权利要求9所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述测试模块调用所述探针参数模块中相关数据并运行图像识别算法对比所述针尖实际照片和所述针尖理论照片以判断探针卡针尖是否粘污。
11.如权利要求9所述的探针自动监控方法，其特征在于，所述测试模块调用所述探针参数模块中相关数据并运行图像识别算法计算针尖实际直径，并与预存的探针卡针尖直径规格比较以判断是否超出预存的探针卡针尖直径规格。
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