[发明专利]一种面板缺陷检查装置在审
申请号: | 201711392543.2 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN107941820A | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 王文;杨慎东;郭连俊 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 武汉开元知识产权代理有限公司42104 | 代理人: | 黄行军 |
地址: | 215214 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 面板 缺陷 检查 装置 | ||
技术领域
本发明涉及面板光学检测装置结构技术领域,具体地指一种面板缺陷检查装置。
背景技术
面板微观缺陷检查是基于光学原理来对制造业生产中遇到的常见缺陷进行检测的技术。在显示面板制造中,由于环境、设备、材料以及其它因素等的影响,生产的显示面板可能存在一些缺陷。其中面板缺陷包括面板上难以被人肉眼所观测到的微观缺陷,对于微观缺陷的检测需要使用显微镜对面板进行详细查看。通常检测方式是将面板放置到灯箱上,通过灯箱上方的显微镜镜头对沿面板的X向和Y向扫描,将面板上所有点的信息传递到显示设备上,人工观察或是数据处理分析是否存在缺陷。微观缺陷需要为显微镜提供足够强度的光线,使显微镜能够清晰分辨出面板上的缺陷,现有技术的灯箱通常是在灯箱内部布设多个光源,通过成片的光源提供足够强度的光线照射面板,即检测过程中面板上所有点均被光源照亮。这种方式虽然能够一定程度上降低面板检测的难度,但是灯箱中需要设置多颗光源,大幅度提高了灯箱的造价,另外多颗光源常亮会造成大量的电能的损耗,提高使用成本。而且面板上所有的点都被光源照射,面板上的缺陷部分可能会因为光线产生散射,形成阴影而干涉正在检测的面板上的点,影响检测效果。
发明内容
本发明的目的就是要解决上述背景技术中提到的现有面板微观缺陷查看方法存在造价过高、资源浪费、检测效果误差大的问题,提供一种面板缺陷检查装置。
本发明的技术方案为:一种面板缺陷检查装置,包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜和光源,其特征在于:还包括X向滑移机构和Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构;所述的显微镜与光源滑动连接于所述Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜与光源沿Y向移动过程中保持显微镜与光源始终处于两两相对的同步状态的联动机构;所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。
进一步的所述的联动机构包括固定在Y向滑移机构上的光源滑轨;所述的光源滑轨沿Y向水平布置;所述的光源滑动连接于光源滑轨上,通过第一电机驱动沿光源滑轨移动。
进一步的所述的光源与光源滑轨之间设置有在光源滑移到超出面板检测范围时控制第一电机停止驱动光源移动的到位机构。
进一步的所述的到位机构包括固定在光源X向侧部的感应片和固定在光源滑轨上与感应片同侧的底座;所述的底座上安装有两片沿X向间隔布置的竖板;所述的两块竖板之间布置有传感器;所述的感应片在跟随光源滑移到超出面板检测范围时穿过两片竖板之间的间隙。
进一步的所述的X向滑移机构包括两条分置于待检测面板Y向两侧的X向导轨,光源滑轨可沿X向移动地布置于两条X向导轨之间。
进一步的所述的Y向滑移机构包括龙门架;所述的龙门架Y向两端滑动连接于X向导轨上,龙门架上设置有沿Y向水平布置的Y向导轨;所述的光源滑轨固定在龙门架上;所述的显微镜滑动连接于Y向导轨上通过第二电机驱动沿Y向移动;所述的第二电机与第一电机同步。
进一步的所述的显微镜包括滑动连接于Y向导轨上的支架和物镜;所述的支架上安装有沿Z向布置的Z向轨道;所述的Z向轨道上设置有沿水平X向布置的X向轨道;所述的X向轨道滑动连接于Z向轨道;所述的物镜滑动连接于X向轨道。
进一步的所述的显微镜包括多个不同倍率的物镜。
进一步的所述的光源为可调节亮度的可调光源,调节光源亮度的旋钮位于光源Y向侧部。
本发明的优点有:1、通过将光源与显微镜同步设置,减少了灯箱内光源的数量,避免了其他光源对显微镜的干扰,降低了灯箱造价,节约了大量的电能;
2、通过设置到位机构,能够及时将移动出的光源位置信息反馈到控制电机上,避免光源的继续移动,减少光源移动距离,提高检查效率;
3、通过同步控制驱动显微镜和光源的电机,使两者能够同步运行,光源与显微镜以扫描的方式对面板进行检测,提高了检测效率,降低了干扰因素;
4、通过将光源滑轨固定安装在龙门架上,保证了光源与显微镜在X向方向上始终处于同步,降低了同步控制光源与显微镜的难度。
本发明的微观缺陷查看装置结构简单,操作方便,同步光源与显微镜能够最大程度将灯箱的造价,减少了电能的消耗,提高了面板的检查效率,具有极大的推广价值。
附图说明
图1:本发明的轴视图;
图2:本发明的俯视图;
图3:本发明的侧视图;
图4:本发明的到位机构的结构示意图;
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