[发明专利]用于离子束产生的源组装件

权利要求书

1.一种用于产生离子束的源组装件，其包括：

碰撞离子化离子源，该碰撞离子化离子源包括：

一对堆叠板，其夹在介于中间的缝隙周围；

在所述板之间的、连接到气体供应导管的离子化空间；

输入区，其被提供在所述板中的第一个中，以容许带电粒子的输入射束进入到所述离子化空间；以及

输出孔，位于所述输入区的对面并且提供在所述板中的第二个中，以允许发射由所述输入射束在所述离子化空间中产生的离子流，

载体，其被提供有多个不同的碰撞离子化离子源，所述多个不同的碰撞离子化离子源关于所述板之间的缝隙高度d而互相不同；以及

选择设备，其允许单独地选择所述离子源中的给定一个用于产生所述离子束。

2.根据权利要求1所述的源组装件，其中将所述多个不同的碰撞离子化离子源提供为安装在所述载体上的单个芯片结构上的集成设备。

3.根据权利要求1所述的源组装件，其中将所述多个不同的碰撞离子化离子源中的每一个提供为分离的芯片结构上的集成设备，并且这些分离的芯片结构安装在所述载体上的不同位置上。

4.根据权利要求1所述的源组装件，其中所述选择设备包括以下中的至少一个：

机械致动器机构，其用于相对于所述输入射束移动所述载体，以便将所选碰撞离子化离子源定位在该射束的路径中；以及

射束偏转器机构，其用于相对于所述载体偏转所述输入射束，以便将该射束引导到所选碰撞离子化离子源中。

5.根据权利要求1所述的源组装件，其中所述载体上的碰撞离子化离子源中的至少一些关于其输出孔直径而不同。

6.根据权利要求1所述的源组装件，其中所述源组装件中的给定的一对碰撞离子化离子源被配置成关于以下中的至少一个而相互不同：

离子束亮度；

离子束能量分布：

离子束发射电流；

离子束张开角；以及

离子束虚拟源大小。

7.根据权利要求1所述的源组装件，还包括控制器，其被配置成调节以下参数中的至少一个来设置离子散射商Q_S：

所述离子化空间中的气压：以及

所述板之间施加的电势。

8.根据权利要求2所述的源组装件，其中所述选择设备包括以下中的至少一个：

机械致动器机构，其用于相对于所述输入射束移动所述载体，以便将所选碰撞离子化离子源定位在该射束的路径中；以及

射束偏转器机构，其用于相对于所述载体偏转所述输入射束，以便将该射束引导到所选碰撞离子化离子源中。

9.根据权利要求2所述的源组装件，其中所述载体上的碰撞离子化离子源中的至少一些关于其输出孔直径而不同。

10.根据权利要求2所述的源组装件，其中所述源组装件中的给定的一对碰撞离子化离子源被配置成关于以下中的至少一个而相互不同：

离子束亮度；

离子束能量分布：

离子束发射电流；

离子束张开角；以及

离子束虚拟源大小。

11.根据权利要求7所述的源组装件，其中Q_S位于5-15的范围中。