[发明专利]大角度入射无半波孔的红外截止滤光片及其膜系设计方法

权利要求书

1.一种大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：包括基板、第一膜堆、第二膜堆和第三膜堆，所述第一膜堆沉积在基板上表面，所述第二膜堆设置于第一膜堆上表面，所述第三膜堆设置于第二膜堆上表面，膜系结构表示为：Sub│(α1Hβ1Lα2Hβ2L…αm1Hβm1L)(i1Ik1Mi2Ik2M…im2Ikm2M)(γ1Jδ1Nγ2Jδ2N…γm3Jδm3N)│Air；

其中(α1Hβ1Lα2Hβ2L…αm1Hβm1L)为第一膜堆；(i1Ik1Mi2Ik2M…im2Ikm2M)为第二膜堆；(γ1Jδ1Nγ2Jδ2N…γm3Jδm3N)为第三膜堆；

Sub代表基板，Air代表空气，H、I、J分别代表高折射率材料膜层，L、M、N分别代表低折射率材料膜层；一个高折射率材料膜层和一个相邻与之配对的低折射率材料膜层形成一个高低对偶单元，m1、m2、m3分别为第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆中高低对偶单元数量，m1、m2、m3取整数；α、i、γ表示各膜堆中高折射率材料膜层的光学厚度系数，即基板垂直方向上膜层光学厚度占λ0/4的倍数，β、k、δ表示各膜堆中低折射率材料膜层的光学厚度系数，即基板垂直方向上膜层光学厚度占λ0/4的倍数。

2.如权利要求1所述的大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：所述高折射率材料膜层H、I、J的光学厚度系数α、i、γ的取值范围为：0.2≤α、i、γ≤2.7。

3.如权利要求1所述的大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：所述低折射率材料膜层L、M、N的光学厚度系数β、k、δ的取值范围为：0.2≤β、k、δ≤2.7。

4.如权利要求1所述的大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：所述高折射率材料膜层H、I、J的物理厚度为10～300nm，所述低折射率材料膜层L、M、N的物理厚度为10～300nm。

5.如权利要求1所述的大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：所述高折射率材料膜层H、I、J和低折射率材料膜层L、M、N的总层数为30～60层。

6.如权利要求1所述的大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：所述高折射率材料膜层H、I、J的折射率为2.05～3.00，所述低折射率材料膜层L、M、N的折射率为1.30～1.65。