[发明专利]一种五管PECVD的石墨舟缓存架

说明书

本发明公开了一种五管PECVD的石墨舟缓存架，所述缓存架设有多个缓存位，所述多个缓存位从下至上间隔设置，所述多个缓存位中序号为奇数的缓存位上设有风机组件，所述风机组件包括风机板和多个风机，所述多个风机设于风机板上且各风机的风机口朝上，所述风机板设于对应的缓存位上。本发明具有用热的石墨舟对冷的石墨舟进行预热，充分利用热量，提高缓存架的散热能力的优点。

技术领域

本发明涉及光伏制造领域中的PECVD设备，尤其涉及一种五管PECVD的石墨舟缓存架。

背景技术

PECVD是光伏制造领域不可缺少的装备，近年来，随着我国光伏业迅猛发展，对装备产能和技术要求也越来越高。PECVD从当初的两管发展到现在的五管，单管工艺片数量从240片发展到现在的416片，单台设备的产能在不断增加，现今单台五管PECVD设备能够完全满足100MW电池生产线的需求。随着设备产能增大，设备尺寸的大小不可避免的增大，这也带来了一些新的问题，其中最为突出的就是散热问题，缓存架散热是重点需要解决的问题之一。

PECVD做完工艺的热舟，通过机械手放置与缓存架上进行散热，石墨舟的热量过大，会对缓存架上的舟检测元器件造成影响，可能造成撞舟现象，因而需要及时的排出石墨舟热量。现有的缓存架的主要散热方式是通过底部轴流风机和顶部轴流风机形成的气流，把净化台内的热量带走，从而达到缓存架冷却的作用。然而现有的五管PECVD设备设计有七个缓存位置，用与石墨舟的缓存。当两个完成镀膜工艺后石墨舟(温度高，后面简称热舟)同时放在缓存架的上下位置时，散热会相互制约，下面热舟散出的热量会对上面的热舟进行加热，而上面的热舟会阻碍下面的热舟散热。因而现有的缓存架缺少风冷装置，散热慢，整体工艺时间长；没有合理分配缓存位，忽略了热舟之间的影响。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种用热的石墨舟对冷的石墨舟进行预热，充分利用热量，提高缓存架的散热能力的一种五管PECVD的石墨舟缓存架。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种五管PECVD的石墨舟缓存架，所述缓存架设有多个缓存位，所述多个缓存位从下至上间隔设置，所述多个缓存位中序号为奇数的缓存位上设有风机组件，所述风机组件包括风机板和多个风机，所述多个风机设于风机板上且各风机的风机口朝上，所述风机板设于对应的缓存位上。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述风机的风机口与水平面具有夹角α，-5°≤α≤5°。

所述风机组件还包括隔热板，所述风机板设于隔热板上，所述隔热板固定于缓存位上。

所述风机板设于隔热板上方并与隔热板之间形成风机容纳腔，所述风机板上设有风机安装孔，所述风机设于风机容纳腔内且风机口位于风机安装孔内。

多个风机成两行多列分布。

最下方的缓存位的下方设有向上吹风的风机组，最上方的缓存位的上方设有向下吹风的风机组。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的五管PECVD的石墨舟缓存架，通过在缓存位上设置向上吹风的风机，用热的石墨舟对冷的石墨舟进行预热，充分利用热量，提高了工艺效果，且风机加快了热的石墨舟的散热，提高缓存架的散热能力，缓存架上热的石墨舟降温效果明显提升，避免缓存架和其他电子元器件的损坏。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明中风机组件结构示意图。

图3是本发明中风机安装位置示意图。

图4是本发明中缓存架的分区示意图。

图中各标号表示：