[发明专利]用于激励产生均匀放电高活性等离子体的复合电源装置

权利要求书

1.一种用于激励产生均匀放电高活性等离子体的复合电源装置，其特征在于，包括高压纳秒脉冲电源(10)、低频交流电源(20)、高通滤波器(40)、低通滤波器(50)和负载(60)；

高压纳秒脉冲电源(10)的输出与高通滤波器(40)的一端口连接，高通滤波器(40)的另一端口接到负载(60)两端；低频交流电源(20)的输出与低通滤波器(50)的一端口连接，低通滤波器(50)的另一端口接到负载(60)两端；

还包括延时触发器(30)；

低频交流电源(20)设置有触发输出端，高压纳秒脉冲电源(10)设置有触发输入端，低频交流电源(20)的触发输出端连接到延时触发器(30)的输入端，延时触发器(30)的输出端连接到高压纳秒脉冲电源(10)的触发输入端；

延时触发器(30)的延时设置为0；

高通滤波器(40)为巴特沃斯构造，采用电感-电容结构；低通滤波器(50)为巴特沃斯构造，采用电感-电容结构；

低通滤波器(50)包括电容C₂和电感L₁和L₃；

低频交流电源(20)的高压端与电感L₃的一端相连接，电感L₃的另一端与电感L₁的一端相连接，电感L₁的另一端与负载(60)的一端相连接，负载(60)的另一端与低频交流电源(20)的接地端相连接，电容C₂的一端接入电感L₁和电感L₃之间的电路，电容C₂的另一端接地；

高通滤波器(40)包括电容C₄、C₆和电感L₅；

高压纳秒脉冲电源(10)的高压端与电容C₄的一端相连接，电容C₄的另一端与电容C₆的一端相连接，电容C₆的另一端与负载(60)的一端相连接，负载(60)的另一端与高压纳秒脉冲电源(10)的接地端相连接，电感L₅的一端接入电容C₄和电容C₆之间的电路，电感L₅的另一端接地；

负载(60)为平行平板电极结构的介质阻挡放电单元，电极为黄铜材质，阻挡介质为氮化铝陶瓷或阳极氧化铝；

低通滤波器(50)的截止频率为1MHz，特征阻抗为2000Ω；L₁和L₃均为线绕电感，电感值均为318μH，C₂为瓷介电容，电容值为160pF；

高通滤波器(40)的截止频率为100kHz，特征阻抗为2000Ω；电容C₄和C₆均为瓷介电容，电容值均为800pF，L₅为绕线电感，电感值为1.59mH；

低频交流电源(20)的频率为50Hz，幅值范围为0～1kV；高压纳秒脉冲电源(10)的频率为100Hz，半高宽为20ns，幅值范围为0～10kV。