[发明专利]一种柔性电子压力传感装置及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性电子压力传感装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

制备具有内部容腔的柔性外壳，且所述内部容腔包括多个阵列通道和连通于多个所述阵列通道的连通腔；于所述内部容腔内注入液态金属导体，于所述柔性外壳插入至少两个电极，使所述电极与所述液态金属导体相接触；

所述柔性外壳包括对合连接形成所述内部容腔的第一柔性基体和第二柔性基体，所述第一柔性基体的内壁设置有用于形成所述阵列通道的凸起结构或/和凹陷结构；所述连通腔设置于所述第二柔性基体；制备所述柔性外壳包括以下步骤：

制备第一模具、第二模具和柔性材料溶液，将柔性材料溶液混合后去除气泡；

向所述第一模具中加入混合并去除气泡后的所述柔性材料溶液形成具有多个阵列通道的第一柔性基体；

在所述第二模具中加入混合并去除气泡后的柔性材料溶液，并使柔性材料溶液形成具有连通腔的第二柔性基体；

将所述第一柔性基体压于未完全固化的所述第二柔性基体上，使所述第一柔性基体和所述第二柔性基体一体连接形成柔性外壳，同时使多个阵列通道和连通腔连通形成封闭的内部容腔；

将柔性材料溶液混合和去除气泡包括以下步骤：

采用Ecoflex系列硅橡胶溶液放入离心混合器的容器中，所述离心混合器的转速为300-400rpm，保持时间为10-15s后，所述离心混合器的转速提高到1400-1600rpm，保持时间为25-30s，得到混合后的硅橡胶溶液；

把混合后的硅橡胶溶液放入真空抽滤装置中，开启所述真空抽滤装置的真空泵，得到去除气泡后的硅橡胶溶液；

形成第一柔性基体包括以下步骤：

在所述第一模具表面喷至少一层脱模剂，接着使用移液器往所述第一模具的型腔中填充去除气泡后的硅橡胶溶液；

将所述第一模具移到烤箱中，在80摄氏度的条件下烘烤45-60min，脱模后得到具有多个阵列通道的第一柔性基体；

使用移液器往所述第二模具的型腔中填充去除气泡后的硅橡胶溶液，然后合模；具体为，所述第二模具包括上模和下模，在所述第二模具的下模的型腔表面喷至少一层脱模剂，接着使用移液器往所述第二模具的下模的型腔中填充去除气泡后的硅橡胶溶液，然后将上模合模于下模；

待所述第二模具的型腔中的硅橡胶溶液半凝固形成第二柔性基体时，开模，然后将第一柔性基体压在第二柔性基体上，使所述第一柔性基体和所述第二柔性基体对合连接形成连通腔，和连通于多个所述阵列通道同一端面的连通腔。

2.如权利要求1所述的一种柔性电子压力传感装置的制备方法，其特征在于，于所述内部容腔内注入液态金属导体包括以下步骤：

采用两个注射器插入所述内部容腔的两端，其中一个注射器内具有液态金属导体；另一个注射器抽所述内部容腔中的空气，具有液态金属导体的注射器向所述内部容腔内注入液态金属导体，使液态金属导体充满内部容腔，拔出所述注射器。

3.如权利要求1所述的一种柔性电子压力传感装置的制备方法，其特征在于，于所述内部容腔的两端插入电极包括以下步骤：

将两个电极分别插入所述内部容腔的两端，使用同样的半凝固柔性材料密封于所述电极与所述柔性外壳之间。