[发明专利]显影设备及其显影液供应系统

权利要求书

1.一种显影液供应系统，用于向显影设备的喷淋头供应显影液，其特征在于，所述显影液供应系统包括：

储液容器，包括进液口和出液口，用于储存第一显影液；

第一管道，连接所述喷淋头和所述出液口，所述第一管道上设置有动力泵，所述动力泵将第一显影液通过所述第一管道输送至所述喷淋头；

第二管道，连接到所述进液口，用于向所述储液容器补充第二显影液；

第三管道，连通所述第一管道和所述第二管道，用于将第一显影液输送至所述第二管道，以使第二显影液与第一显影液在所述第二管道中混合后再输入到所述储液容器。

2.根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第二管道上设置有允许第二显影液流向所述储液容器的第一逆止阀，所述第一逆止阀在所述第二管道上位于所述第二管道的输入端和所述第二管道与所述第三管道的连接节点之间；所述第三管道上设置有允许第一显影液流向所述第二管道的第二逆止阀。

3.根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第一管道上设置有第一开关阀，所述第二管道上设置有第二开关阀，所述第三管道上设置有第三开关阀。

4.根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第二管道上设置有第一调压阀，所述第三管道上设置有第二调压阀。

5.根据权利要求2所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第一管道上设置有第一开关阀，所述第一开关阀在所述第一管道上位于所述第一管道的输出端和所述第三管道与所述第一管道的连接节点之间；所述第二管道上设置有第二开关阀，在第二显影液的流动方向上，所述第二开关阀位于所述第一逆止阀之前；所述第三管道上设置有第三开关阀，在第一显影液的流动方向上，所述第三开关阀位于所述第二逆止阀之前。

6.根据权利要求3或5所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第一开关阀、第二开关阀和第三开关阀分别选自气动开关阀或电动开关阀。

7.根据权利要求5所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第二管道上设置有第一调压阀，所述第一调压阀位于所述第二开关阀和所述第一逆止阀之间；所述第三管道上设置有第二调压阀，所述第二调压阀位于所述第三开关阀和所述第二逆止阀之间。

8.根据权利要求4或7所述的显影液供应系统，其特征在于，所述第一调压阀和第二调压阀分别选自气动调压阀或电动调压阀。

9.根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述进液口设置于所述储液容器的顶部，所述第二管道的输出端从所述进液口伸入到所述储液容器中并延伸至邻近于所述储液容器的底部；所述出液口设置于所述储液容器的侧壁上且位于邻近于所述储液容器的底部。

10.一种显影设备，其特征在于，包括：

显影平台，用于承载待显影的基板；

喷淋头，设置于所述显影平台的相对上方，用于向所述待显影的基板喷洒显影液；

如权利要求1-9任一所述的显影液供应系统，用于向所述喷淋头供应显影液。