[发明专利]新型基于GaN的LED器件结构在审
申请号: | 201711382263.3 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN108054257A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 张捷 | 申请(专利权)人: | 西安智盛锐芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/08 | 分类号: | H01L33/08;H01L33/32;H01L33/36;H01L33/64 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 黄晶晶 |
地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 基于 gan led 器件 结构 | ||
1.一种新型基于GaN的LED器件结构,其特征在于,包括:
导电衬底(410);
第二反光层(409),设置于所述导电衬底(410)上;
第一反光层(408),设置于所述第二反光层(409)上;
金属电极层(407),设置于第一反光层(408)上;
第一GaN蓝光外延层(10A)、GaN黄光外延层(20)、GaN绿光外延层(30)、GaN红光外延层(40)以及第二GaN蓝光外延层(10B),依次横向排列且设置于所述金属电极层(407)上;
阳极电极(56),设置于所述导电衬底(410)下。
2.如权利要求1所述的器件结构,其特征在于,所述导电衬底(410)为掺杂Si片、铝板或者铜板。
3.如权利要求1所述的器件结构,其特征在于,所述金属电极层(407)的材料为金属Ni或者金属Au。
4.如权利要求1所述的器件结构,其特征在于,所述第一GaN蓝光外延层(10A)和所述第二GaN蓝光外延层(10B)材料相同均包括第一GaN缓冲层(101)、第一GaN稳定层(102)、第一n型GaN层(103)、第一有源层(104)、第一AlGaN阻挡层(105)以及第一p型GaN层(106);其中,所述第一有源层(104)包括依次周期性层叠分布的第一GaN势垒层(104a)和第一InGaN量子阱层(104b)。
5.如权利要求1所述的器件结构,其特征在于,所述GaN黄光外延层(20)包括第二GaN缓冲层(201)、第二GaN稳定层(202)、第二n型GaN层(203)、第二有源层(204)、第二AlGaN阻挡层(205)以及第二p型GaN层(206);其中,所述第二有源层(204)包括依次周期性层叠分布的第二GaN势垒层(204a)和第二nGaN量子阱层(204b)。
6.如权利要求1所述的器件结构,其特征在于,所述GaN绿光外延层(30)包括第三GaN缓冲层(301)、第三GaN稳定层(302)、第三n型GaN层(303)、第三有源层(304)、第三AlGaN阻挡层(305)以及第三p型GaN层(306);其中,所述第三有源层(304)包括依次周期性层叠分布的第三GaN势垒层(304a)和第三nGaN量子阱层(304b)。
7.如权利要求1所述的器件结构,其特征在于,所述GaN红光外延层(40)包括第四GaN缓冲层(401)、n型GaAs缓冲层(402)、n型GaAs稳定层(403)、第四有源层(404)、p型A1GaInP阻挡层(405)以及p型GaAs层(406);其中,所述第四有源层(404)包括依次周期性层叠分布的GalnP势垒层(404a)和A1GaInP量子阱层(404b)。
8.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,还包括第一阴极电极(51)、第二阴极电极(52)、第三阴极电极(53)、第四阴极电极(54)以及第五阴极电极(55),其中,所述第一阴极电极(51)设置于所述第一GaN蓝光外延层(10A)上,所述第二阴极电极(52)设置于所述GaN黄光外延层(20)上,所述第三阴极电极(53)设置于所述GaN绿光外延层(30)上,所述第四阴极电极(54)设置于所述GaN红光外延层(40)上,所述第五阴极电极(55)设置于所述第二GaN蓝光外延层(10B)上。
9.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,还包括第一隔离层(12)、第二隔离层(12)、第三隔离层(22)、第四隔离层(32),其中,所述第一隔离层(12)设置于所述GaN黄光外延层(20)的四周,所述第二隔离层(22)设置于所述GaN绿光外延层(30)的四周,所述第三隔离层(32)设置于所述GaN红光外延层(40)的四周,所述第四隔离层(42)设置于所述第二GaN蓝光外延层(10B)的四周。
10.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述阳极电极(56)为整个器件的共用电极。
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