[发明专利]具有沉积的疏水性薄膜的非色散红外二氧化碳气体传感器在审
| 申请号： | 201711382214.X | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109211823A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李承焕;李根宪;吕炯基;金真浩 | 申请（专利权）人： | 韩国交通大学校产学合作团;株式会社修马斯 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;武胐 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射器 疏水性薄膜 沉积 气体传感器 反射表面 非色散 红外二氧化碳 池型 二氧化碳气体传感器 红外气体传感器 第二检测器 第一检测器 安置 二氧化碳 光源 测量 | ||
1.一种非色散红外二氧化碳气体传感器，其沉积有疏水性薄膜，其中
在用于测量气体中所包含的二氧化碳的浓度的二氧化碳气体传感器中，所述气体传感器是怀特池型，
在所述怀特池中，第一反射器(120)和第二反射器(130)被设置成面向第三反射器(140)，
光源(110)安置于第三反射器(140)的一侧，而第一检测器(150)和第二检测器(160)安置于另一侧，并且
第一反射器(120)、第二反射器(130)和第三反射器(140)的反射表面的至少一部分沉积有疏水性薄膜。
2.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，第一疏水性薄膜(122)沉积于第一反射器(120)的整个反射表面上，第二疏水性薄膜(132)沉积于第二反射器(130)的整个反射表面上，且第三疏水性薄膜(142)沉积于第三反射器(140)的整个反射表面上。
3.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，所述疏水性薄膜包括派瑞林、OTS和氟硅烷中的一种。
4.如权利要求3所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，所述疏水性薄膜包括派瑞林-C。
5.如权利要求4所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，所述派瑞林-C的沉积厚度为0.2μm至0.7μm。
6.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，所述派瑞林-C的沉积厚度为0.5μm。
7.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，第二检测器(160)是参照检测器，且在第一检测器(150)的前方还安置有菲涅尔透镜(152)。
8.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，第二检测器(160)是参照检测器，且在第二检测器(160)的前方还安置有保护窗(115)和中空盘(167)。
9.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，在光源(110)的前方还安置有保护窗(115)。
10.如权利要求1所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，在第一反射器(120)、第二反射器(130)和第三反射器(140)的附近进一步安装有加热器。
11.如权利要求10所述的非色散红外二氧化碳气体传感器，其中，在第一反射器(120)和第二反射器(130)的附近进一步安装有第二加热器(240)，且在第三检测器(140)的附近进一步安装有第一加热器(230)。
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