[发明专利]一种SF

权利要求书

1.一种SF₆和N₂混合气体快速回收处理装置，其特征在于其包括通过管路依次连接的逆止阀(1)、干燥过滤装置(2)、SF₆回收装置(3)、气体分离装置(4)和氮气回收装置(5)；在干燥过滤装置(2)和气体分离装置(4)上通过管路安装SF₆气体分析仪(6)，在氮气回收装置(5)上通过管路安装SF₆气体检测仪(7)；

所述干燥过滤装置(2)包括通过管路依次连接的第一自封接头(201)、第一球阀(202)、干燥罐(203)、过滤罐(204)和第一缓冲罐(205)；第一自封接头(201)和第一球阀(202)之间安装第五压力表(214)，在所述第一缓冲罐(205)侧部分别通过管路设置第二自封接头(207)和第三自封接头(208)，在第一缓冲罐(205)和第二自封接头(207)之间安装第一电磁阀(206)，在第一缓冲罐(205)和第三自封接头(208)之间安装第二球阀(211)，第二自封接头(207)与SF₆回收装置(3)连接，第三自封接头(208)与SF₆气体分析仪(6)一侧接口连接；

在所述第一缓冲罐(205)上部分别通过管路设置第一压力传感器(209)和第一压力表(210)；在第一缓冲罐(205)和第一压力表(210)之间设置第一旋拧阀(212)和第一安全阀(213)；

在所述干燥罐(203)内填装型号为5A的分子筛；在所述过滤罐(204)内填装HEPA过滤网芯，过滤精度小于0.5μm；

所述SF₆回收装置(3)包括通过管路依次连接的第一压缩机(301)、冷凝罐(302)、提纯罐(303)和SF₆储气瓶(304)；所述冷凝罐(302)设置在提纯罐(303)上方，冷凝罐(302)的底部与提纯罐(303)顶部相连，在冷凝罐(302)和提纯罐(303)之间安装制冷机(307)；在所述冷凝罐(302)侧部内设置与制冷机(307)连接的第一热力交换器(322)，提纯罐(303)顶部内设置与制冷机(307)连接的第二热力交换器(321)；

所述第一压缩机(301)一侧通过管路设置第四自封接头(305)，第四自封接头(305)与第二自封接头(207)连接；所述第一压缩机(301)另一侧和冷凝罐(302)之间设置第一单向阀(306)；

在提纯罐(303)上设置第五压力传感器(308)和第一温度传感器(309)；

在冷凝罐(302)顶部设置第二压力传感器(310)和第二压力表(311)，在冷凝罐(302)和第二压力表(311)之间设置第二旋拧阀(312)和第二安全阀(313)；

在所述冷凝罐(302)另一侧分别通过管路设置第五自封接头(314)、第六自封接头(315)和第二温度传感器(319)，第五自封接头(314)和第六自封接头(315)分别与气体分离装置(4)连接，在冷凝罐(302)和第五自封接头(314)之间安装第四电磁阀(316)，在冷凝罐(302)和第六自封接头(315)之间安装第三单向阀(317)；

在SF₆储气瓶(304)和提纯罐(303)之间安装第三球阀(318)；在提纯罐(303)底部设置称重器(320)；

制冷机(307)的型号为CWZ-75，制冷深度为-40℃；

所述第一压缩机(301)为无油压缩机；

所述气体分离装置(4)包括第二缓冲罐(401)、通过管路设置在第二缓冲罐(401)一侧下部的第二压缩机(402)和通过管路设置在第二缓冲罐(401)另一侧上部的膜分离罐(403)；

在第二压缩机(402)和第二缓冲罐(401)之间安装第四球阀(404)；

在第二压缩机(402)另一侧通过管路安装第十自封接头(405)；

在第二缓冲罐(401)一侧上部通过管路设置第七自封接头(406)和第二单向阀(407)，所述第七自封接头(406)和第五自封接头(314)连接，所述第十自封接头(405)和第六自封接头(315)连接；

在膜分离罐(403)和第二缓冲罐(401)之间安装减压阀(408)，在膜分离罐(403)外侧设置第八自封接头(409)，在所述第二缓冲罐(401)另一侧下部和底部分别通过管路设置的第四单向阀(410)、第九自封接头(411)和第六球阀(412)、第十一自封接头(413)，第八自封接头(409)和第九自封接头(411)分别与氮气回收装置(5)连接，所述第十一自封接头(413)与SF₆气体分析仪(6)另一侧接口连接；

在第二缓冲罐(401)顶部设置第三压力传感器(414)和第三压力表(415)，在第二缓冲罐(401)和第三压力表(415)之间设置第三旋拧阀(416)和第三安全阀(417)；

所述第二压缩机(402)为无油压缩机；所述膜分离罐(403)内填装中空纤维气体分离膜；

所述氮气回收装置(5)包括通过管路相连接的N₂储气瓶(501)、第三压缩机(502)和氮气罐(503)；

在第三压缩机(502)外侧通过管路设置第十二自封接头(506)和第五电磁阀(504)，所述N₂储气瓶(501)并连设置在第十二自封接头(506)和第五电磁阀(504)之间的管路上，在所述N₂储气瓶(501)上部安装第五球阀(505)；所述第十二自封接头(506)和第九自封接头(411)连接，

在所述氮气罐(503)另一侧上部和下部分别通过管路设置第六电磁阀(507)、第十三自封接头(508)和第七球阀(509)、第十四自封接头(510)，

所述第十三自封接头(508)与第八自封接头(409)连接，所述第十四自封接头(510)与SF₆气体检测仪(7)连接；

在氮气罐(503)顶部设置第四压力传感器(511)和第四压力表(512)，在氮气罐(503)和第四压力表(512)之间设置第四旋拧阀(513)和第四安全阀(514)；

第三压缩机(502)为无油压缩机，入口进气压力0.05MPa～2MPa，出口气体压力大于12.5MPa。