[发明专利]一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法在审
| 申请号： | 201711378452.3 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108039381A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张险峰;陈庆武;张成 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院 |
| 主分类号： | H01L31/032 | 分类号： | H01L31/032 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 528400 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 纳米 颗粒 制备 czts 薄膜 方法 | ||
1.一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法，其特征在于：包括有以下步骤：
(1)将50g 1mm直径的研磨球和13.6g 50微米的研磨球同1g CZTS粉末进行混合，倒入研磨容器内；
(2)向研磨容器内滴入3ml酒精；
(3)将研磨容器进行密封；
(4)将研磨容器固定在球磨容器上；
(5)进行36小时顺时针及逆时针方向旋转球磨，同时球磨容器主动，带动研磨容器公转；
(6)向25微米孔径过滤网上滴入3mL 2-(2-乙氧基乙烷)；
(7)将研磨完的溶液进行过滤，获得溶液；
(8)用酒精和2-(2-乙氧基乙烷)将溶液进行稀释；
(9)将溶液进行超声处理；
(10)将溶液进行低速离心处理，防止颗粒凝结，处理完成后去除沉淀物；
(11)将溶液进行高速离心处理，防止颗粒凝结，处理完成后去除沉淀物；
(12)在溶液中加入适量甲醇，并进行超声波处理；
(13)将溶液进行高速离心处理，使溶液中悬浮颗粒完全沉淀，去除溶剂；
(14)将沉淀物中加入酒精，进行超声处理；
(15)将溶液进行离心处理，使溶液中悬浮颗粒完全沉淀，去除溶剂；
(16)重复步骤(14)-(15)三次，获得纯纳米颗粒；
(17)称取纳米颗粒的重量，并加入适量酒精进行超声处理，获得CZTS纳米颗粒溶液；
(18)采用旋转涂覆的方法在覆Mo的钠钙玻璃上喷涂CZTS前驱膜；
(19)采用低温加热的方式去除CZTS中的有机溶剂。
2.如权利要求1所述的一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法，其特征在于：所述步骤(10)中低速离心处理的转速为1500rpm，处理时间为10分钟。
3.如权利要求1所述的一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法，其特征在于：所述步骤(11)中高速离心处理的转速为6000rpm，处理时间为30分钟。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
