[发明专利]一种用于蓝宝石平面抛光的抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，包括如下重量百分含量的组分：

二氧化硅胶体10-50％

分散剂0.01-0.5％

抗结晶剂0.1-2％

络合剂0.01-0.2％

表面活性剂0.01-0.5％

消泡剂0.01-0.5％

适量pH调节剂调节pH值在8.5-11.5，余量为去离子水；

其中，二氧化硅胶体中的二氧化硅颗粒粒径40-150nm，比表面积与粒径存在如下关系：S/D_S²＝0.0020-0.0675，S以m²/g,D_S为二氧化硅胶体颗粒的平均粒径，以纳米计。

2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，包括如下重量百分含量的组分：

二氧化硅胶体35-40％

分散剂0.05-0.2％

抗结晶剂0.5-1％

络合剂0.05-0.1％

表面活性剂0.05-0.1％

消泡剂0.05-0.1％

适量pH调节剂调节pH值在9.5-10.5，余量为去离子水。

3.根据权利要求1或2所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述二氧化硅颗粒粒径80-110nm，比表面积与粒径存在如下关系：S/D_S²＝＝0.0020-0.0100。

4.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述pH调节剂采用pH酸性调节剂或pH碱性调节剂；

所述pH酸性调节剂采用盐酸、硝酸、草酸、柠檬酸或磷酸中的任一种；

所述pH碱性调节剂采用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、三乙醇胺、乙二胺、四甲基氢氧化铵中的任一种。

5.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述分散剂采用甲基硅油和异丙醇，重量配比为1：5-10。

6.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述抗结晶剂采用山梨糖醇、乙二醇中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述络合剂采用乙二胺四乙酸二钠、四甲基氯化铵中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述表面活性剂采用脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化铵、聚丙烯酸钠中的一种或多种。

9.根据权利要求1所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液，其特征在于，所述消泡剂采用聚醚消泡剂、有机硅消泡剂中的一种或多种。

10.权利要求1-9任一项所述的用于蓝宝石平面抛光的抛光液的制备方法，其特征在于，将所述分散剂与去离子水混合稀释，持续搅拌，在搅拌条件下，向二氧化硅胶体水溶液中加入，再依次加入抗结晶剂、络合剂、表面活性剂和消泡剂，最后用pH调节剂调整pH值，补足去离子水调节含量。