[发明专利]激光打标机自动清洁控制系统

说明书

激光打标机自动清洁控制系统，包括：传感器、继电器、控制面板、电磁阀、真空泵，所述传感器安装于基板打印位置的侧面，所述传感器与控制面板连接，所述控制面板输出引脚与继电器连接，所述继电器的输出端接电磁阀，电磁阀通过气路管道与真空泵连接，真空泵通过管道与真空吸嘴连接，本发明通过在基板打印位置后方增加传感器，检测到该位置有基板时将信息传给控制面板，控制面板发送控制指令给继电器，通过继电器得电吸合控制电磁阀的工作，用于控制真空泵进行清洗工作，减少了基板的污染。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及激光打标机自动清洁控制系统。

背景技术

在激光打标机上，打印完成时会出现大量的灰尘残留在设备内部, 因此在作业时灰尘会污染需要打标的基板，由于没有自动清洁系统，导致基板被污染后出现不良,鉴于此，需要对基板自动清洁系统进行研发和设计。

发明内容

本发明提供一种激光打标机自动清洁控制系统，实现激光打标机的自动清洁，避免基板污染，为了实现上述目的，采用以下技术方案：包括：传感器、继电器、控制面板、电磁阀、真空泵，所述传感器安装于基板打印位置的后方，用于检测基板打印位置是否存在有基板；所述传感器与控制面板的I/O脚电连接，用于将检测信号发送给控制面板；所述控制面板的输出端还与继电器电连接，用于控制继电器的得失电状态；所述继电器的输出端与电磁阀连接，用于控制电磁阀的通断电；所述电磁阀通过气路管道与真空泵连接，控制真空泵的工作。

优选的，还包括24v的电源，电源通过电源线与传感器连接，用于对其供电；电源还与继电器电连接，用于提供继电器的工作电压。

优选的，还包括有传感器放大器，传感器与传感器放大器电连接，传感器放大器的输出端连接控制面板。

优选的，所述传感器为光纤传感器，可选型号FU-83系列。

优选的，所述传感器放大器采用基恩士光纤传感器放大器。

优选的，还包括有电离单元，所述电离单元通过气路管道与电磁阀连接，所述电离单元还通过导线与继电器的输出端连接。

优选的，真空泵通过气路管道与真空吸嘴连接，真空吸嘴安装于基板打印位置处。

优选的，还包括有手动开关(M/C START)，安装于电磁阀与继电器之间的连接线路上。

本发明的有益效果：本发明通过在基板打印位置后方增加传感器，检测到该位置有基板时将信息传给控制面板，控制面板发送控制指令给继电器，通过继电器得电吸合控制电磁阀的工作，用于控制真空泵进行清洗工作，减少了基板的污染。

附图说明

图1为本发明关于本专利申请的控制原理图；

图2为本专利申请的部分结构示意图；

图3为图1所示的逻辑时序图；

1、传感器；2、继电器；3、传感器放大器；4、电源；5、控制面板； 7、电离单元；8、电磁阀；9、真空泵；10、手动开关；11、真空吸嘴。

具体实施方式

由图1所示可知，本专利提供一种激光打标机自动清洁控制系统，包括：传感器1、继电器2、控制面板5、电磁阀8、真空泵9，所述传感器1安装于基板打印位置的后方，用于检测基板打印位置是否存在有基板；所述传感器1与控制面板5的I/O脚电连接，用于将检测信号发送给控制面板5；所述控制面板5的输出端还与继电器2 电连接，用于控制继电器2的得失电状态；所述继电器2的输出端与电磁阀8连接，用于控制电磁阀8的通断电；所述电磁阀8通过气路管道与真空泵9连接，控制真空泵9的工作。