[发明专利]一种超声辅助克服摩擦直线运动平台

权利要求书

1.一种超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，所述运动平台包括：机座、直线导轨、导轨滑块、工作台、辅助机构、柔性铰链组、直线电机驱动器、压电叠堆和位移检测装置；

所述直线导轨安装在所述机座上；

所述导轨滑块设置于所述直线导轨上，并能够在所述直线导轨上滑动；

所述辅助机构包括两个板块，所述辅助机构安装在所述导轨滑块上；

所述工作台通过所述柔性铰链组与所述辅助机构连接；

所述直线电机驱动器对所述工作台施加驱动力，所述驱动力可以使所述柔性铰链组发生弹性变形，进而使所述工作台产生沿导轨长度方向的直线位移；

所述压电叠堆固定于所述辅助机构的所述两个板块之间；

所述位移检测装置用于实时反馈所述工作台的位置。

2.根据权利要求1所述的超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，每一条所述直线导轨上均至少设有两个所述导轨滑块；每一个所述板块分别安装在两个不同的所述导轨滑块上。

3.根据权利要求1或2所述的超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，所述柔性铰链组包括多个柔性铰链，每个所述板块均至少与一个所述柔性铰链连接。

4.根据权利要求1或2所述的超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，所述移检测装置包括：光栅尺传位移感器与光栅尺；光栅尺传位移感器与工作台连接，与装于基座上的光栅尺一起，实时测量运动平台在任意情况下的位移。

5.根据权利要求1或2所述的超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，所述直线电机驱动器包括直线电机动子和直线电机定子，所述直线电机动子在电磁力作用下对所述工作台施加驱动力。

6.根据权利要求1或2所述的超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，所述柔性铰链为单独加工、可拆卸式的切口型柔性铰链。

7.根据权利要求1或2所述的超声辅助克服摩擦直线运动平台，其特征在于，所述辅助机构的所述两个板块为刚性连接或做成整体。