[发明专利]一种用于蓝宝石3D抛光的抛光液及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711375996.4 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN107987731B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 裴亚利;张忆;靳桂姻 申请(专利权)人: 北京航天赛德科技发展有限公司
主分类号: H01L21/302 分类号: H01L21/302
代理公司: 北京方韬法业专利代理事务所(普通合伙) 11303 代理人: 马丽莲
地址: 100000 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 蓝宝石 抛光 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种用于蓝宝石3D抛光的抛光液,其特征在于,包括如下重量百分含量的组分:

二氧化硅胶体10-50%

分散剂0.01-0.5%

氧化剂0.01-0.5%

络合剂0.01-0.2%

表面活性剂0.01-0.5%

消泡剂0.01-0.5%

适量pH调节剂调节pH值在8.5-11.5,余量为去离子水;

其中,二氧化硅胶体粒径为40-150nm;

所述分散剂采用PEG和纤维素,重量配比为0.5-2:1;或所述分散剂采用PEG、纤维素和异丙醇,重量配比为0.5-2:1:0.5-2;

所述氧化剂采用过硫酸钠、过硫酸钾、双氧水、高氯酸盐、次氯酸盐、二氯异氰尿酸钠、硝酸钠、硝酸铵及有机过氧化物中的一种或多种;

所述络合剂采用乙二胺四乙酸二钠、四甲基氯化铵中的一种或多种;

所述表面活性剂采用脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化铵、聚丙烯酸钠中的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石3D抛光的抛光液,其特征在于,包括如下重量百分含量的组分:

二氧化硅胶体35-40%

分散剂0.05-0.1%

氧化剂0.05-0.1%

络合剂0.05-0.1%

表面活性剂0.05-0.1%

消泡剂0.05-0.1%

适量pH调节剂调节pH值在9.5-10.5,余量为去离子水。

3.根据权利要求1或2所述的用于蓝宝石3D抛光的抛光液,其特征在于,所述二氧化硅胶体粒径为80-110nm。

4.根据权利要求1所述的用于蓝宝石3D抛光的抛光液,其特征在于,所述pH调节剂为pH酸性调节剂或pH碱性调节剂;所述pH酸性调节剂采用盐酸、硝酸、草酸、柠檬酸、磷酸中的任一种;所述pH碱性调节剂采用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、三乙醇胺、乙二胺、四甲基氢氧化铵中的任一种。

5.根据权利要求1所述的用于蓝宝石3D抛光的抛光液,其特征在于,所述消泡剂采用聚醚消泡剂、有机硅消泡剂中的一种或多种。

6.权利要求1-5任一项所述的用于蓝宝石3D抛光的抛光液的制备方法,其特征在于,将所述二氧化硅胶体与分散剂按比例混合,分散剂事先分散至去离子水中,持续搅拌,在搅拌条件下,依次加入氧化剂、络合剂、表面活性剂和消泡剂,氧化剂也需要事先水溶,最后在搅拌状态下使用pH调节剂调节pH值,然后使用去离子水调节含量。

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