[发明专利]一种张网固定结构和张网固定方法在审
申请号: | 201711374959.1 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN109930107A | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 曾辉;陈凯凯;兰兰 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 201506 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 张网 磁力发生装置 金属掩膜板 支撑框架 固定结构 焊接方式 褶皱 固定金属 掩膜板 良率 吸附 蒸镀 半导体制造技术 拆卸 承载 | ||
1.一种张网固定结构,其特征在于,包括:
支撑框架;所述支撑框架承载有磁力发生装置;
所述磁力发生装置,用于吸附金属掩膜板,并将所述金属掩膜板固定于所述支撑框架上。
2.如权利要求1所述的固定结构,其特征在于,所述磁力发生装置位于所述支撑框架内部靠近第一表面处,所述第一表面为所述支撑框架上用于承载所述金属掩膜板的一面。
3.如权利要求1所述的固定结构,其特征在于,所述磁力发生装置位于所述支撑框架的第一表面上的凹槽内,所述磁力发生装置的表面与所述第一表面平齐;所述第一表面为所述支撑框架上用于承载所述金属掩膜板的一面。
4.如权利要求1所述的固定结构,其特征在于,所述磁力发生装置包括导磁组件和磁体组件;
所述磁体组件,用于产生磁力;
所述导磁组件,用于将所述磁体组件产生的磁力传导至所述支撑框架,并通过所述支撑框架传导至所述金属掩膜板。
5.如权利要求4所述的固定结构,其特征在于,所述磁力发生装置还包括隔磁组件和控制部件;
所述隔磁组件,位于所述磁力发生装置内的第一位置处,用于阻隔所述磁体组件产生的磁力;
所述导磁组件位于所述磁力发生装置内的第二位置处;
所述控制部件用于控制所述磁体组件移动至所述第一位置处或所述第二位置处。
6.如权利要求5所述的固定结构,其特征在于,所述隔磁组件包括至少一个隔磁体,所述隔磁体位于所述磁体组件的磁极所对应的第一位置处。
7.如权利要求6所述的固定结构,其特征在于,所述隔磁组件包括第一隔磁体和第二隔磁体;所述第一隔磁体位于所述磁体组件的一个磁极所对应的位置;所述第二隔磁体位于所述磁体组件的另一个磁极所对应的位置。
8.如权利要求7所述的固定结构,其特征在于,所述导磁组件包括第一导磁体和第二导磁体;所述第一导磁体的第一端与所述第二导磁体的第一端通过所述第一隔磁体连接,所述第一导磁体的第二端与所述第二导磁体的第二端通过所述第二隔磁体连接;
所述磁体组件位于所述第一导磁体和所述第二导磁体之间形成的空间内。
9.如权利要求8所述的固定结构,其特征在于,所述控制部件为转动手柄,所述转动手柄与所述磁体组件连接,用于:
在需要将所述金属掩膜板固定于所述支撑框架的情况下,转动所述转动手柄使所述磁体组件的一个磁极对准所述第一导磁体,另一个磁极对准所述第二导磁体;
或,在需要将所述金属掩膜板与所述支撑框架分离的情况下,转动所述转动手柄使所述磁体组件的一个磁极对准所述第一隔磁体,另一个磁极对准所述第二隔磁体。
10.如权利要求9所述的固定结构,其特征在于,所述磁体组件为永磁体;所述导磁组件还包括第一软磁体和第二软磁体;
所述第一软磁体与第一导磁体连接,且所述第一软磁体位于靠近所述磁体组件位置;所述第二软磁体与第二导磁体连接,且所述第二软磁体位于靠近所述磁体组件的位置。
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