[发明专利]一种金属遮罩的支撑平台及检测装置

权利要求书

1.一种金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，

两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；

所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；

所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。

2.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，各所述出气孔上均设有喷气嘴。

3.根据权利要求1或2所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的吹气量可以将金属遮罩吹起30～70um。

4.根据权利要求3所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板上靠近所述金属遮罩安装件的出气孔的密度为m1，所述气浮板上靠近所述框体的出气孔的密度为m2，m1＜m2。

5.根据权利要求4所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的材质为陶瓷。

6.根据权利要求2所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述喷气嘴包括喷气嘴本体，所述喷气嘴本体的外周壁上设有外螺纹，各所述出气孔内壁上设有与所述喷气嘴本体螺纹连接的内螺纹。

7.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述多个出气孔设置为可闭合式气孔，所述气浮板内壁旋转固定有与气浮板开孔位置相同的调节板，旋转调节板实现多个出气孔的全开、半开及全闭。

8.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述安装件滑动设置于所述气浮板上，以形成不同大小的承载面。

9.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板与所述框体连接的侧边沿该侧边延伸方向设有燕尾槽，所述框体两侧设有与所述燕尾槽配合的卡持块。

10.一种金属遮罩的检测装置，其特征在于，包含如权利要求1-9任意一项所述的金属遮罩的支撑平台以及检测单元，所述检测单元设置于所述支撑平台上方，用以检查金属遮罩是否存在瑕疵。