[发明专利]一种半导体激光器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711373914.2 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN108011291A 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 胡双元;颜建 申请(专利权)人: 苏州矩阵光电有限公司
主分类号: H01S5/00 分类号: H01S5/00
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 马永芬
地址: 215614 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体激光器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体激光器,其特征在于,包括:

衬底;

并列形成在所述衬底上的检测组件和发光组件;

所述发光组件中的有源层在所述检测组件上的投影,落入所述检测组件中的吸收层的范围内。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器,其特征在于,所述发光组件在靠近所述检测组件的一侧设置有第一功能层,在远离所述检测组件的一侧设置有第二功能层。

3.根据权利要求2所述的半导体激光器,其特征在于,所述有源层在所述第一功能层上的投影,落入所述第一功能层的范围内;

和/或,

所述有源层在所述第二功能层上的投影,落入所述第二功能层的范围内。

4.根据权利要求2所述的半导体激光器,其特征在于,所述第一功能层为反射层,所述第二功能层为增透层。

5.根据权利要求1所述的半导体激光器,其特征在于,

所述发光组件包括层叠设置的第一半导体层,所述有源层以及第二半导体层,所述第一半导体层靠近所述衬底设置。

6.根据权利要求5所述的半导体激光器,其特征在于,还包括层叠设置在所述第二半导体层上的第一电极层。

7.根据权利要求1所述的半导体激光器,其特征在于,所述检测组件包括层叠设置的第三半导体层,所述吸收层,以及第四半导层,所述第三半导体层靠近所述衬底设置。

8.根据权利要求7所述的半导体激光器,其特征在于,还包括层叠设置在所述第四半导体层上的第二电极层。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的半导体激光器,其特征在于,还包括层叠设置在所述衬底远离所述发光组件的一侧的第三电极层。

10.一种半导体激光器的制备方法,其特征在于,包括:

提供衬底,所述衬底划分出发光组件区和检测组件区;

在所述发光组件区上形成发光组件;

在所述检测组件区上形成检测组件,所述发光组件中的有源层在所述检测组件上的投影,落入所述检测组件中的吸收层的范围内。

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