[发明专利]一种可实现自动翻转的基片架

权利要求书

1.一种可实现自动翻转的基片架，用于溅射镀膜设备和真空蒸发镀膜设备环境下，其特征在于，包括：翻转机构、旋转机构和棘轮机构；

所述棘轮机构夹持所述基片，并传递旋转和翻转所述基片的旋转力和翻转力；包括工件、工件卡具、棘轮，卡具支座；所述述工件是通常用于半导体元器件基片；工件卡具整体呈现三方封闭一方开口的形状，所述卡具穿过底壁中心与侧壁平行的轴线倾斜设置，从水平面方向向上延伸；所述工件卡具的底壁外侧，垂直于所述底壁的方向设置有一轴，所述轴穿过卡具支座上的孔轴后，安装上棘轮；所述卡具支座固定设置在所述旋转机构上；

旋转机构，所述旋转机构包括转盘、电机和驱动机构，所述转盘上承载多个所述棘轮机构，所述电机通过驱动机构与所述转盘机构相连，驱动所述转盘沿着其中心转动；

翻转机构，包括棘爪、轴、拉杆、杠杆、气缸；杠杆与杠杆座连接，杠杆可以以杠杆与杠杆座的连接点为中心旋转；杠杆的一端A与气缸固定，杠杆的另一端B与拉杆固定；拉杆与轴以及与棘爪连接；当气缸收缩时，气缸拉动杠杆以杠杆座为中心转动，杠杆推动拉杆上升，进而实现棘爪的上升；当气缸伸长时，气缸推动杠杆以杠杆座为中心逆时针转动，杠杆拉动拉杆下降，进而实现棘爪的下降；

当所述棘爪上升且棘轮机构旋转至棘爪上方时，所述翻转机构上的棘爪与所述棘轮机构上的棘轮接触，同时，由于棘轮本身是随着圆盘旋转的，而棘爪并不随圆盘转动，因此棘轮机构上面的棘轮就会被棘爪拨动；所述棘轮在圆周方向具有四个均匀分布的凹陷，所述棘爪为直线型设置有与所述凹陷配合的棘爪凸起，每一个凸起与棘轮上的凹陷配合拨动棘轮，一个凸起拨动一次棘轮旋转90度，两个凸起两次拨动后，棘轮旋转180度，完成工件翻转。

2.根据权利要求1所述的一种可实现自动翻转的基片架，其特征在于：

所述工件安装在工件卡具上，所述工件卡具整体呈现三方封闭一方开口的“[”形，所述工件卡具的所述轴线与水平面呈20-30度角度。

3.根据权利要求2所述的一种可实现自动翻转的基片架，其特征在于：

所述工件卡具的底壁外侧垂直于所述底壁的方向设置有一轴，所述轴穿过卡具支座上的孔轴后，安装上棘轮；所述棘轮的中部设置有向下延伸的套筒，工件卡具的轴穿过所述套筒设置；在棘轮的所述套筒上设置有螺孔，所述螺孔贯穿所述套筒设置，在所述螺孔中设置有固定螺钉，通过所述固定螺钉抵靠所述工件卡具的轴来将所述工件卡具与所述棘轮固定。

4.根据权利要求3所述的一种可实现自动翻转的基片架，其特征在于：

所述工件卡具与卡具支座的孔轴间隙配合，通过调整螺钉和弹簧来调整二者之间的松紧程度。

5.根据权利要求3所述的一种可实现自动翻转的基片架，其特征在于：所述工件盘的上表面设置有向圆盘外侧并向上延伸的臂，所述卡具支座与所述臂固定。