[发明专利]用于微机电系统(MEMS)装置的弯曲联接器

权利要求书

1.一种具有多个耦合的质量块的微机电系统MEMS装置，包括：

第一和第二检测质量块，均配置为根据驱动模式沿第一轴线性移动并且根据感测模式沿第二轴线性移动，所述第二轴大致与所述第一轴正交；和

联接器，将所述第一和第二检测质量块耦合在一起并配置为当所述第一和第二检测质量块根据所述感测模式移动时沿着所述第一轴线性移动，并且当所述第一和第二检测质量块根据所述驱动模式移动时沿着所述第二轴线性移动。

2.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述MEMS装置还包括以同步质量块构造耦合所述第一和第二检测质量块的第三和第四检测质量块，并且其中所述联接器沿着所述第一轴和第二轴两者强制所述第一、第二、第三和第四检测质量块的线性反相运动。

3.权利要求2所述的MEMS装置，其中所述联接器沿着所述第一轴和第二轴两者是柔性的。

4.权利要求3所述的MEMS装置，其中所述联接器包括由柔性部分分开的两个刚性部分。

5.权利要求4所述的MEMS装置，其中所述联接器设置在所述第一、第二、第三和第四检测质量块之间。

6.权利要求2所述的MEMS装置，其中所述MEMS装置是MEMS陀螺仪。

7.权利要求6所述的MEMS装置，其中所述第一和第二检测质量块被配置为在所述驱动模式和感测模式下以线性反相运动移动。

8.权利要求2所述的MEMS装置，其中所述联接器是第一联接器，并且设置在所述第一、第二、第三和第四检测质量块之间，并且其中所述MEMS装置还包括设置在所述第一和第二检测质量块之间的第二联接器、以及设置在所述第三和第四检测质量块之间的第三联接器，其中所述第二和第三联接器与所述第一联接器联合提供动量平衡。

9.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述联接器包括在所述第一和第二检测质量块之间延伸的梁。

10.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述第一和第二检测质量块悬挂在基板上方，并且其中所述联接器通过至少两个锚与所述基板耦合。

11.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述联接器包括耦合折叠弹簧的梁。

12.一种同步质量块微机电系统MEMS陀螺仪，包括：

第一、第二、第三和第四检测质量块，以平面检测质量块布置方式布置并耦合在一起，均配置为根据驱动模式沿第一轴线性移动并且根据感测模式沿第二轴线性移动，所述第二轴大致与所述第一轴正交；和

弯曲联接器，设置在所述第一、第二、第三和第四检测质量块之间并与所述第一、第二、第三和第四检测质量块耦合，所述弯曲联接器被配置为当所述第一、第二、第三和第四检测质量块根据所述感测模式移动时沿所述第一轴线性移动，并且当所述第一、第二、第三和第四检测质量块根据所述驱动模式移动时沿所述第二轴线性移动。

13.权利要求12所述的同步质量块微机电系统MEMS陀螺仪，其中所述弯曲联接器被配置为在所述驱动和感测模式两者下以线性反相运动耦合所述第一、第二、第三和第四检测质量块。

14.权利要求12所述的同步质量块微机电系统MEMS陀螺仪，其中所述弯曲联接器是第一联接器，并且其中所述同步质量块MEMS陀螺仪还包括第二和第三联接器，所述第二联接器将所述第一和第二检测质量块耦合在一起并且所述第三联接器将所述第三和第四检测质量块耦合在一起，其中所述第一、第二和第三联接器被配置为沿着所述第一轴动量平衡。

15.权利要求14所述的同步质量块微机电系统MEMS陀螺仪，其中所述第二和第三联接器是弯曲联接器。