[发明专利]一种增材制造装置和制造方法有效

专利信息
申请号: 201711367905.2 申请日: 2017-12-18
公开(公告)号: CN109927288B 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 李会丽;唐世弋;李志丹 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B29C64/153 分类号: B29C64/153;B29C64/20;C23C24/08;B33Y10/00;B33Y30/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 制造 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种增材制造装置,其特征在于,包括:工件台模块;壳体增材模块,配置为在所述工件台模块上形成壳体;金属布线模块,配置为在所述壳体增材模块形成所述壳体后在所述壳体上设置金属布线;布线修复模块,配置为检测布线缺陷并修补该缺陷,且通过激光照射反应气体进行化学气相沉积,以进行缺陷修复;其中,所述壳体增材模块还配置为修补所述缺陷后在所述壳体上形成壳盖。

2.如权利要求1所述的增材制造装置,其特征在于,所述壳体增材模块包括供料系统和增材加工模块,所述增材加工模块配置为在所述工件台模块上加工所述供料系统提供的物料以形成壳体。

3.如权利要求2所述的增材制造装置,其特征在于,所述供料系统配置为提供塑料粉,所述增材加工模块包括激光烧结单元和铺粉装置。

4.如权利要求3所述的增材制造装置,其特征在于,所述壳体增材模块还包括用于回收激光烧结后多余塑料粉的回收系统。

5.如权利要求2所述的增材制造装置,其特征在于,所述供料系统配置为提供塑料丝,所述增材加工模块包括塑料丝打印头。

6.如权利要求1所述的增材制造装置,其特征在于,所述金属布线模块包括金属浆料承载腔、连杆机构和金属沉积喷头,所述金属浆料承载腔通过所述连杆机构和金属沉积喷头连接。

7.如权利要求6所述的增材制造装置,其特征在于,所述金属布线模块还包括过滤系统,所述过滤系统连接在所述连杆机构上。

8.如权利要求6所述的增材制造装置,其特征在于,所述金属布线模块还包括加热模块,所述加热模块配置为固化金属布线。

9.如权利要求1所述的增材制造装置,其特征在于,所述布线修复模块包括图像传感器、激光单元和化学气相沉积单元,所述图像传感器检测所述金属布线模块的金属布线缺陷,所述激光单元和所述化学气相沉积单元根据所述图像传感器检测情况修复所述缺陷。

10.如权利要求9所述的增材制造装置,其特征在于,所述图像传感器固定在所述激光单元上并随所述激光单元的激光头同步运动,或者所述图像传感器固定在所述金属布线模块上并随所述金属布线模块同步运动。

11.如权利要求9所述的增材制造装置,其特征在于,所述激光单元包括第二振镜、第二激光源和激光头,所述第二激光源与所述激光头连接。

12.如权利要求9所述的增材制造装置,其特征在于,所述化学气相沉积单元包括储气单元、连接管路、气体喷嘴和用于排放修复过程中产生的废气的气体抽排装置,所述储气单元通过所述连接管路和气体喷嘴连接,以提供反应气体。

13.如权利要求12所述的增材制造装置,其特征在于,所述化学气相沉积单元还包括惰性气体单元和保护罩,所述惰性气体单元提供的惰性气体通过所述保护罩出射,所述保护罩设置在所述气体喷嘴外圈。

14.如权利要求13所述的增材制造装置,其特征在于,所述保护罩上设置有气体流量调节装置,以调节所述保护罩流通的气体流量。

15.一种增材制造方法,其特征在于,包括:

步骤1:通过壳体增材模块在工件台模块上构建壳体;

步骤2:通过金属布线模块在壳体上设置金属布线;

步骤3:通过布线修复模块对布线进行检测并修复缺陷,且通过激光照射反应气体进行化学气相沉积,以进行缺陷修复;

步骤4:通过壳体增材模块在布线后壳体上增覆壳盖。

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