[发明专利]光学调制器

说明书

一种光学调制器可以包括至少一个接地电极。所述光学调制器可以包括平行于所述至少一个接地电极的至少一个信号电极。所述光学调制器可以包括平行于所述至少一个接地电极和所述至少一个信号电极的至少一个波导。所述光学调制器可以包括相对于所述光学调制器的表面设置在所述至少一个接地电极和所述至少一个信号电极的下方的第一基底。所述光学调制器可以包括相对于所述光学调制器的表面设置在所述第一基底的至少一部分的下方的第二基底。所述光学调制器可以包括设置在所述第一基底和所述第二基底之间的浮置导体。

技术领域

本公开涉及光学调制器。更具体地，本公开的一些方面涉及包括导体的光学调制器，以通过减少到基底模式的耦合来减少射频(RF)损耗，并改善共面波导的隔离。

背景技术

光学调制器，例如电-光调制器，可以调制波束。光学调制器可以包括z-切铌酸锂(LN)基底、射频(RF)信号电极的组、接地电极的组、以及共面波导的组，从而调制波束。所述一组共面波导可以是Mach-Zehnder(MZ)干涉仪的部件。例如，光学调制器可以配置为使用嵌套四并行MZ干涉仪调制器(QPMZM)的波导拓扑。具有共面波导的光学调制器可能导致在基底内激发RF介电模式(dielectric mode)和平行板(parallel-plate mode)模式。所述一组共面波导的基本电磁模式(fundamental electromagnetic mode)中的RF功率可以耦合到基底模式(substrate mode)，这可能导致光学调制器频率响应中的RF损耗和/或谐振下降(resonant dip)。基底模式的谐振频率基于基底的尺寸。例如，随着基底的尺寸朝向更小尺寸减小，谐振频率向更高频率移动。

因此，在一些情况下，减少基底厚度会导致RF损耗以及谐振移动至更高频率，这可能在光学调制器的工作频率范围之外，从而避免了对光学调制器的性能的负面影响。然而，减少基底厚度可能会降低光学调制器的机械耐久性，并且可能会由于降低光学调制器的机械刚性而增加制造难度。相应地，有利的是，光学调制器可以配置为在大于阈值厚度的基底的情况下抑制寄生RF模式(例如，其引起RF损耗)，从而确保机械刚性和机械耐久性。

发明内容

根据一些可能的实施方式，一种光学调制器可以包括至少一个接地电极。所述光学调制器可以包括平行于所述至少一个接地电极的至少一个信号电极。所述光学调制器可以包括平行于所述至少一个接地电极和所述至少一个信号电极的至少一个波导。所述光学调制器可以包括相对于所述光学调制器的表面设置在所述至少一个接地电极和所述至少一个信号电极的下方的第一基底。所述光学调制器可以包括相对于所述光学调制器的表面设置在所述第一基底的至少一部分的下方的第二基底。所述光学调制器可以包括设置在所述第一基底和所述第二基底之间的浮置导体。

根据一些可能的实施方式，一种光学调制器可以包括叠层基底，所述叠层基底包括与所述叠层基底的表面相距一阈值距离设置的多个波导。所述叠层基底可以包括导体层，以抑制所述叠层基底内的射频(RF)介电模式和平行板模式。所述光学调制器可以包括设置在所述叠层基底的表面上的多个接地电极。所述光学调制器可以包括设置在所述叠层基底的表面上的多个信号电极。

根据一些可能的实施方式，一种光学调制器可以包括一组接地电极。所述光学调制器可以包括对应于且平行于所述一组接地电极的信号电极。所述光学调制器可以包括对应于且平行于所述一组接地电极的一组波导。所述一组波导中的第一波导可以相对于所述光学调制器的表面设置在所述一组接地电极中的接地电极的下方。所述一组波导中的第二波导可以相对于所述光学调制器的表面设置在所述信号电极的下方。所述光学调制器可以包括第一基底，其相对于所述光学调制器的表面设置在所述一组接地电极和所述信号电极的下方。所述光学调制器可以包括第二基底，其相对于所述光学调制器的表面设置在所述第一基底的至少一部分的下方。所述光学调制器可以包括设置在所述第一基底和所述第二基底之间的导体。

附图说明

图1A和图1B是本文所述的示例实施方式的概览的图示；