[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201711354594.6 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107916401B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 孙力 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚埚体，具有环形的第一连接面，所述第一连接面为平面；
坩埚盖体，具有环形的第二连接面，所述第二连接面为平面；
隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间；
所述隔垫环的与所述第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞；
所述孔洞为连通所述坩埚埚体与所述坩埚盖体的通孔。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述通孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。
3.根据权利要求1～2任意一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的部分设置为平面，以及所述隔垫环的与所述第二连接面接触的部分设置为平面。
4.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
权利要求1～3任意一项所述的蒸镀坩埚。
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