[发明专利]一种铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711354115.0 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN108069731A 公开(公告)日: 2018-05-25
发明(设计)人: 杜宁;季勇升;杨德仁;张亚光;杜英;陆介平 申请(专利权)人: 江苏润弛太阳能材料科技有限公司
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人: 徐冬涛;李晓峰
地址: 212218 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 氮化硅涂层 氮化硅 粘结剂 多晶硅 低氧 硅锭 种粒 坩埚 制备 搭配 铸造 光电转换效率 光伏组件 颗粒粗细 优化选择 成品率 粗颗粒 高粘度 细颗粒 致密性 含氧 粒径 填充
【权利要求书】:

1.一种铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层,其特征在于,该氮化硅涂层包括两种粒径的氮化硅和粘结剂。

2.根据权利要求1所述的氮化硅涂层,其特征在于,所述两种粒径的氮化硅包括氮化硅A和氮化硅B,所述氮化硅A的粒径为5~50μm且不包括5μm,所述氮化硅B的粒径为0.1~5μm;优选为,所述氮化硅A的粒径为10~20μm,所述氮化硅B的粒径为0.5~2μm。

3.根据权利要求2所述的氮化硅涂层,其特征在于,所述氮化硅A和氮化硅B质量比为1:0.01~1;优选为1:0.2-0.5。

4.根据权利要求1所述的氮化硅涂层,其特征在于,所述两种粒径的氮化硅和粘结剂的质量比为:1:0.01~1;优选为1:0.03-0.08。

5.根据权利要求1或4所述的氮化硅涂层,其特征在于,所述的粘结剂为高粘度低氧含量的粘结剂;优选为聚丙烯酸、丁苯乳胶、瓜尔豆胶和阿拉伯树胶中的一种或几种。

6.权利要求1~5中任一所述铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层的制备方法,其特征在于,先将两种粒径的氮化硅混合均匀,再将混合均匀的氮化硅粉末分散在去离子水中,加入粘结剂并搅拌均匀进行喷涂。

7.权利要求1~5中任一所述的氮化硅涂层在铸造多晶硅免喷坩埚中的应用。

8.一种铸造多晶硅免喷坩埚,其特征在于,在石英坩埚表面喷涂一层如权利要求1~5中任一所述的氮化硅涂层。

9.根据权利要求8所述的铸造多晶硅免喷坩埚,其特征在于,将权利要求1~5中任一所述的氮化硅涂层用净化的压缩空气进行喷涂,喷枪压力为25psi~45psi,喷涂距离为20~35cm,定位着落坩埚宽度为15~25cm,控制涂层厚度为80~150μm。

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