[发明专利]一种冷却构件及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种冷却构件，其特征在于，包括冷却板和旋转机构，所述冷却板包括若干根冷却条，所述冷却条与冷却液管路连通，所述旋转机构包括驱动件和转轴，所述驱动件与所述转轴的一端连接，所述转轴的另一端与所述冷却条连接。

2.如权利要求1所述的冷却构件，其特征在于，所述冷却板还包括框架，所述冷却条设于所述框架内，所述框架上设有用以所述转轴穿过的穿孔。

3.如权利要求1所述的冷却构件，其特征在于，所述冷却条设有与所述转轴适配的贯穿孔，所述冷却条与所述转轴同步转动。

4.如权利要求1所述的冷却构件，其特征在于，所述驱动件为电机或气缸。

5.如权利要求2所述的冷却构件，其特征在于，所述框架与所述转轴的材质均为不锈钢材质。

6.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括腔室、用以加热基片的加热灯管和权利要求1-5任一项所述的冷却构件，所述驱动件安装在所述腔室的侧壁外侧，所述冷却板安装在所述加热灯管与所述腔室的底板之间。

7.如权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述转轴的一端通过第一密封旋转装置穿过腔室的侧壁与所述驱动件连接，所述转轴的另一端通过第二密封旋转装置可旋转的安装在对称侧的腔室侧壁上。

8.如权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一密封旋转装置与所述第二密封旋转装置均为磁流体轴承。

9.如权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述框架通过支撑件固定在所述腔室的底板上侧。

10.如权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述加热灯管为红外灯管，所述红外灯管安装于基片的下侧。