[发明专利]用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置在审
| 申请号： | 201711336533.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109954365A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李建霖;曾伟庭;高浩鑫;洪伟珉 | 申请（专利权）人： | 汉科系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/02;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 史瞳;許榮文 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 湿式蚀刻 清洗台 入口部 化学滤材 洗涤装置 高吸附 醇类 过滤 活性碳 异丙醇 吸附 衔接 出口 | ||
1.一种用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，适用于处理来自湿式蚀刻清洗台的排气中的醇类，并包含入口部，所述入口部做为所述来自湿式蚀刻清洗台的排气的入口，其特征在于，所述用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置还包含过滤部，所述过滤部衔接于所述入口部的出口，并包括化学滤材，所述化学滤材用于吸附来自所述入口部的排气中的醇类，且为经改质过后的活性碳。
2.根据权利要求1所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：所述化学滤材的形状为矩形体，且所述过滤部还包括用于铅直地安装所述化学滤材的安装架。
3.根据权利要求1所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：还包含位于所述过滤部下游处且包括至少一个喷头的水洗部，所述喷头是利用水液洗涤来自所述过滤部的排气中的残余醇类。
4.根据权利要求3所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：所述水洗部包括数个喷头。
5.根据权利要求3所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：还包含位于所述水洗部下方并用于盛接所述喷头喷出的水液的水槽。
6.根据权利要求3所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：还包含位于所述水洗部下游处并用于对来自所述水洗部的干净气体进行除雾的除雾器。
7.根据权利要求6所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：还包含位于所述除雾器下游处的风车，所述风车用于将来自所述除雾器的干净气体排放至大气中。
8.根据权利要求7所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：还包含用于安装所述入口部、所述过滤部、所述水洗部、所述除雾器与所述风车的壳体。
9.根据权利要求1所述的用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，其特征在于：所述入口部包括数条入口管。
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