[发明专利]一种气体传感器低压气体浓度标定装置及标定方法

权利要求书

1.一种气体传感器低压气体浓度标定方法，所述方法是在低压气体浓度标定装置上进行的，所述装置包括一个封闭气室，气室侧壁上设置有进气口、出气口、气压变送器接口、温度变送器接口和一个待标定气体浓度传感器接口，气压变送器接口连接有数字气压表，温度变送器接口连接数字温度计，所述进气口通过管路并行连接高压标准浓度气源和氮气气源，在高压标准浓度气源和氮气气源到所述进气口的连接管路上分别设置有高压标准浓度气源控制限压阀门和氮气气源控制限压阀门，所述出气口连接有一个真空抽气泵，在真空抽气泵与出气口连接的管路上设置一个排气管，排气管上设置一个排气阀门，将待标定气体浓度传感器连接至待标定气体浓度传感器接口，其特征在于，所述低压气体浓度标定方法包括清洗封闭气室的步骤和低压气体浓度标定的步骤：

所述清洗封闭气室的步骤是：将排气管上的排气阀门打开、将高压标准浓度气源控制限压阀门关闭、将氮气气源控制限压阀门打开，向封闭气室充入氮气，在数字气压表显示封闭气室为正压的状态下，待标定气体传感器浓度显示值校准为零；

所述低压气体浓度标定的步骤是：

a.将氮气气源控制限压阀门关闭、将高压标准浓度气源控制限压阀门打开，逐渐将排气管上的排气阀门关闭直至封闭气室的压力达到常压预设值，维持常压预设值待气体传感器浓度显示值稳定至少5分钟，然后将高压标准浓度气源控制限压阀门关闭；

b.启动真空抽气泵，抽出封闭气室中的气体直至数字气压表显示封闭气室气体压力达到低压标气预设值后，停止真空抽气泵，此时将待标定气体传感器显示浓度值校准为低压标气浓度值。

2.根据权利要求1所述的低压气体浓度标定方法，其特征在于，所述常压预设值是绝对值为一个大气压的预设值。

3.根据权利要求1所述的低压气体浓度标定方法，其特征在于，所述真空抽气泵是抽气真空度为绝对压力小于10帕的真空抽气泵。

4.根据权利要求1所述的低压气体浓度标定方法，其特征在于，所述向封闭气室充入氮气是以流量为3升/分钟的速度充入，在数字气压表显示封闭气室为正压的状态下充入的时间不小于10分钟。

5.根据权利要求1所述的低压气体浓度标定方法，其特征在于，所述高压标准浓度气源控制限压阀门是将高压标准浓度气源的压力减压至绝对值为一个大气压的限压阀门。