[发明专利]一种MWT电池激光开孔及除渣方法及设备

权利要求书

1.一种MWT电池激光开孔及除渣方法，包括以下步骤：步骤一、激光开孔，开孔方法为轮廓成型法；步骤二、激光除渣，一个开孔加工完毕后，立即对开孔外缘的圆环状除渣区域进行激光除渣，除渣区域的外圆和内圆半径之差为开孔半径的10～20％。

2.根据权利要求1所述的MWT电池激光开孔及除渣方法，其特征在于：所述激光开孔的具体方法为，设置激光器的输出功率、重复频率、脉冲宽度，设置光斑直径、离焦量和扫描速度，控制激光光斑以开孔中心为圆心，以开孔半径减去光斑半径为半径的圆周上进行扫描，扫描一周，计为一次，重复多次，完成开孔的加工；

所述激光除渣的具体方法为，设置激光器的输出功率、重复频率、脉冲宽度，设置光斑直径、离焦量和扫描速度，控制激光光斑以开孔中心为圆心，以除渣区域的外圆半径减去光斑半径为半径的圆周上进行扫描除渣。

3.根据权利要求2所述的MWT电池激光开孔及除渣方法，其特征在于：激光开孔的步骤中，激光器为1064nm激光器，输出功率为45±10W，重复频率为80-200KHz，脉冲宽度为100±20ns，扫描速度为1200±500mm/s，光斑直径为35±5μm，离焦量为-(200±30)μm，开孔直径为200μm；

激光除渣的步骤中，除渣区域的外圆和内圆半径之差为10～20μm，控制激光器功率为45～50W，重复频率为150～250KHz，脉冲宽度为100±20ns，扫描速度为1000～3000mm/s，光斑直径为30～40μm，离焦量为-(50±5)μm。

4.根据权利要求1至3任一所述的MWT电池激光开孔及除渣方法，其特征在于：加工时硅片放置在加工平台上的负压吸盘上。

5.根据权利要求1至3任一所述的MWT电池激光开孔及除渣方法，其特征在于：加工时，加工平台下方和斜上方的抽尘模组进行抽尘处理。

6.一种MWT电池激光开孔及除渣设备，其特征在于：包括激光加工模组，加工平台模组和抽尘模组。

7.根据权利要求6所述的激光开孔及除渣设备，其特征在于：所述激光加工模组包括依次放置的激光器、反射镜、扩束镜、光阑、振镜和场镜；

所述加工平台模组包括加工平台和设置于其上的负压吸盘，所述加工平台和负压吸盘对应的硅片开孔位置上设置有孔洞；

抽尘模组包括设置于加工平台斜上方的第二抽尘模组和设置于加工平台下方的第一抽尘模组。