[发明专利]金属MO膜连续磁控溅射生产线在审
| 申请号： | 201711333484.1 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109913833A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;孙桂红;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送室 缓冲室 质检 磁控溅射生产线 传动辊 金属MO 出口 镀膜 依次连接 溅射室 进口室 进口 室内 大规模工业化生产 大面积镀膜 低成本生产 镀膜基片 溅射沉积 扩散路径 通用性强 质检系统 出口室 良品率 质检室 制备 蒸发 传送 | ||
1.金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：包括依次连接的进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射室、出口传送室、出口缓冲室、出口室和质检室，所述进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射室、出口传送室、出口缓冲室、出口室内均设有依次连接的传动辊，所述质检室内设有镀膜质检辊和质检系统，所述出口室内传动辊与镀膜质检辊相连，所述传动辊与镀膜质检辊用于传送镀膜基片。
2.根据权利要求1所述的金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：所述质检系统包括光源和顺次连接的光电探测器、滤波器、A/D转换器，所述光源与光电探测器分设于镀膜质检辊两侧，所述光源发出的光透过镀膜基片被光电探测器接收，经滤波后通过A/D转换器转换为电信号。
3.根据权利要求2所述的金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：所述质检系统还包括服务器，所述服务器与A/D转换器相连，用于将转换的电信号进行分析和对比。
4.根据权利要求1所述的金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：所述进口缓冲室、进口传送室、溅射室和出口传送室均安装有加热装置。
5.根据权利要求4所述的金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：所述加热装置与各工艺室之间通过镜面板隔热。
6.根据权利要求1所述的金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：辊轴沿垂直方向的末端设有万向轴承。
7.根据权利要求2所述的金属MO膜连续磁控溅射生产线，其特征在于：所述溅射室内设有至少一个旋转阴极。
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