[发明专利]多用途金属膜层真空镀膜生产线

权利要求书

1.多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：包括依次连接的进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射室、出口传送室、出口缓冲室、出口室和质检室，所述进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射室、出口传送室、出口缓冲室、出口室内均设有依次连接的传动辊，所述质检室内设有镀膜质检辊和质检系统，所述出口室内传动辊与镀膜质检辊相连，所述传动辊与镀膜质检辊用于传送镀膜基片。

2.根据权利要求1所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：所述质检系统包括光源和顺次连接的光电探测器、滤波器、A/D转换器，所述光源与光电探测器分设于镀膜质检辊两侧，所述光源发出的光透过镀膜基片被光电探测器接收，经滤波后通过A/D转换器转换为电信号。

3.根据权利要求2所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：所述质检系统还包括服务器，所述服务器与A/D转换器相连，用于将转换的电信号进行分析和对比。

4.根据权利要求1所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：所述质检室内还设有镀膜质检台和生产线实时质量监控系统，所述镀膜质检台包括基片架(11)，所述基片架(11)上方排列有若干基架孔(12)，所述基架孔(12)下方设有传动装置(13)，所述生产线实时质量监控系统包括顺次连接的一扫描透射光谱测量探头、二个扫描反射光谱测量探头和一个面电阻测量探头，所述测量探头均安装于镀膜质检台上方，所述传动装置(13)与镀膜质检辊相连，将镀膜质检辊传送的基片传输至基架孔(12)。

5.根据权利要求1所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：所述进口缓冲室、进口传送室、溅射室和出口传送室均安装有加热装置。

6.根据权利要求4所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：所述加热装置与各工艺室之间通过镜面板隔热。

7.根据权利要求1所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：辊轴沿垂直方向的末端设有万向轴承。

8.根据权利要求2所述的多用途金属膜层真空镀膜生产线，其特征在于：所述溅射室内设有至少一个旋转阴极。