[发明专利]一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法。

背景技术

太阳能作为取之不尽用之不竭的新能源，最近几年得到了长足的进步与发展。CIGS薄膜太阳能电池是全球光伏领域的开创性成果，是新一代最具竞争力的商业化薄膜太阳能电池，具有稳定性好、抗辐照性能好、成本低、效率高等优点。CIGS产线需要经过很多工艺过程，其核心设备是镀膜设备，包括磁控溅射镀膜和蒸发镀膜等方法，这都需要在真空环境下进行。其中铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线是整个工艺实现的基础。

对于铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线，规定两片玻璃原片进入进口腔室的时间间隔为机械节拍。铜铟镓生产线的产能和机械节拍息息相关。一般一个机械节拍包括很多动作，比如进口腔室破空、门阀打开、玻璃传输、门阀关闭、进口室抽真空等等。为了提高经济效益，加快机械节拍就成了关键手段。经过分析可以得出，机械动作时间很短，进一步压缩的可能性比较小。抽真空的时间占到整个节拍的50％左右，所以怎么提高抽真空的时间就成了关键手段。

一般为了达到快速抽空的目的，进口腔室的真空泵一般都是常开的。所以在进口腔室处于大气状态的时候，真空泵一直在做无用功，浪费了大量能源。

以往加快抽空时间主要从两个方面着手，一个是减少腔体容积，经过技术的提高，这一块基本已经做到极限，提高的空间不大。另一个方法是配置更多的真空泵或者配置抽速更快的真空泵。这不但会大大提高固定资产的投入，同时受到真空泵的限制，没有更快的泵可选。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法，能够提高生产节奏，提高生产效率。

为实现上述目的，本发明提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，采用如下技术方案：一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，包括进料腔室和缓冲腔室，进料腔室具有进料门阀，进料腔室与缓冲腔室之间设有隔离门阀；进料腔室上连接有第一连接管和第二连接管，第一连接管上连接有抽真空装置和第一截止阀，第一截止阀位于抽真空装置与进料腔室之间，第二连接管上连接有真空罐和第二截止阀，第二截止阀位于进料腔室与真空罐之间，抽真空装置与真空罐连接有第三连接管，第三连接管上设有第三截止阀；所述第一连接管上连接有第一真空计，第一真空计位于第一截止阀和抽真空装置之间，所述进料腔室上连接有第二真空计，所述真空罐上连接有第三真空计。

优选地，所述抽真空装置包括罗茨泵与旋片泵，罗茨泵连接于旋片泵与第一截止阀之间。

优选地，所述第一连接管上连接有第一破真空阀，第一破真空阀上连接有第一消音器；第一破真空阀位于抽真空装置与第一截止阀之间。

优选地，所述第一真空计位于第一破真空阀和抽真空装置之间。

优选地，所述进料腔室上连接有第二破真空阀，第二破真空阀上连接有第二消音器。

优选地，所述真空罐上连接有第三破真空阀，第三破真空阀上连接有第三消音器。

优选地，所述第一截止阀位于抽真空装置和真空罐之间的管道上，第二截止阀位于真空罐和进料腔室之间的管道上。

与本发明的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统相应地，本发明还提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法，采用如下技术方案：一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法，利用上述技术方案或其任一优选的技术方案所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统进行作业，包括如下作业步骤：1)初始状态下，第一截止阀和第二截止阀关闭，第三截止阀打开，抽真空装置对真空罐进行抽真空；隔离门阀处于关闭状态；2)将进料门阀打开，将待镀膜玻璃送入进料腔室，然后再将进料门阀关闭；3)关闭第三截止阀，并打开第一截止阀和第二截止阀，抽真空装置通过第一连接管对进料腔室抽真空，并且进料腔室中的气体通过第二连接管被吸入真空罐；4)第一真空计测得压力值为P1，第二真空计测得压力值为P2，第三真空计测得压力值为P3，定义P2和P3的差值为P23，当P23达到设定值△P时，关闭第二截止阀；5)抽真空装置继续对进料腔室抽真空；当第二真空计测得进料腔室内压力达到设定值P2’时，关闭第一截止阀以停止对进料腔室抽真空；并打开第三截止阀以使抽真空装置对真空罐进行抽真空；6)打开隔离门阀，将待镀膜玻璃送入缓冲腔室，然后再将隔离门阀关闭。