[发明专利]一种快速退火的镀膜方法在审
| 申请号： | 201711329122.5 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109913811A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;孙桂红;祝海生;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/58;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 快速退火 真空溅镀 镀膜 退火 膜系结构 惰性气体灯 多层镀膜 快速烧结 密封腔室 摩擦特性 烧结处理 退火方式 一次退火 制备工艺 烧结 膜层 闪灯 成型 照射 节约 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种快速退火的镀膜方法，其特征在于，所述镀膜方法用于DLC膜系，包括真空溅镀和快速退火，逐层真空溅镀后进行快速退火，快速退火为快速闪灯退火，将已镀好膜的膜系结构置于环境温度不超过100℃的密封腔室中，使膜层经过惰性气体灯的照射，进行烧结处理。
2.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：惰性气体灯对膜层结构的照射为间接照射，灯光通过反射镜反射后照射在膜面上。
3.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：惰性气体灯包括氙灯、氩灯、氦灯、氪灯。
4.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：惰性气体灯为螺旋氙灯。
5.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：闪灯能量密度90～150J/㎡以下，闪灯时间在0～2ms以下，脉冲1～2次。
6.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：所述DLC膜系为五层膜系，包括基板、桥接层、DLC膜层、桥接层和功能层。
7.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：所述DLC膜系为四层膜系，包括基板、桥接层、DLC膜层和功能层。
8.根据权利要求1所述的快速退火的镀膜方法，其特征在于：所述DLC膜系为五层膜系，包括基板、散热层、DLC膜层、桥接层和功能层。
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